| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| ·选题背景及研究意义 | 第12页 |
| ·薄膜沉积技术 | 第12-13页 |
| ·薄膜材料的发展 | 第12-13页 |
| ·薄膜沉积技术分类 | 第13页 |
| ·化学气相沉积 | 第13页 |
| ·物理气相沉积 | 第13页 |
| ·CrSiCN薄膜研究进展 | 第13-22页 |
| ·CrN薄膜的结构和摩擦学特性 | 第13-16页 |
| ·CrSiN薄膜的结构和摩擦学特性 | 第16-19页 |
| ·CrCN薄膜的结构和摩擦学特性 | 第19-21页 |
| ·CrSiCN薄膜的结构和摩擦学特性 | 第21-22页 |
| ·类金刚石薄膜（DLC）研究进展 | 第22-24页 |
| ·DLC薄膜的结构和摩擦性能 | 第22-23页 |
| ·Ti或Cr掺杂DLC薄膜的摩擦性能 | 第23-24页 |
| ·本文研究目的及主要工作 | 第24-25页 |
| ·本文研究目的 | 第24页 |
| ·本文主要工作 | 第24-25页 |
| 第二章 实验方法 | 第25-31页 |
| ·实验方案 | 第25页 |
| ·薄膜制备 | 第25-26页 |
| ·基底材料的选择 | 第25页 |
| ·基底材料的处理 | 第25页 |
| ·CrSiCN薄膜的制备 | 第25-26页 |
| ·Ti或Cr掺杂DLC膜的制备 | 第26页 |
| ·水溶液的配制 | 第26页 |
| ·水润滑摩擦实验 | 第26-27页 |
| ·实验数据处理相关仪器介绍 | 第27-29页 |
| ·金相显微镜 | 第27页 |
| ·摩擦试验机 | 第27-28页 |
| ·划痕试验仪 | 第28页 |
| ·磨损量测试组件 | 第28-29页 |
| ·实验结果处理 | 第29-30页 |
| ·结合力实验结果处理 | 第29页 |
| ·水润滑实验结果处理 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 薄膜的结合力测试 | 第31-34页 |
| ·CrSiCN薄膜的结合力测试 | 第31-32页 |
| ·Ti或Cr掺杂DLC薄膜的结合力测试 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 CrSiCN薄膜的水润滑摩擦学特性 | 第34-45页 |
| ·不同SiC靶功率制备的薄膜与小球对磨的摩擦系数和磨损率 | 第34-37页 |
| ·不同水溶液下薄膜与小球对磨的摩擦系数和磨损率 | 第37-40页 |
| ·不同载荷下薄膜与小球对磨的摩擦系数和磨损 | 第40-42页 |
| ·不同速率下薄膜与小球对磨的摩擦系数和磨损率 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 Ti或Cr掺杂DLC薄膜的水润滑摩擦特性 | 第45-60页 |
| ·不同水溶液下薄膜与SiC小球对磨的摩擦系数 | 第45-48页 |
| ·不同水溶液下Ti过渡层/ DLC薄膜与SiC小球对磨的摩擦系数 | 第45-46页 |
| ·不同水溶液下Ti掺杂DLC薄膜与SiC小球对磨的摩擦系数 | 第46-47页 |
| ·不同水溶液下Cr过渡层/ DLC薄膜与SiC小球对磨的摩擦系数 | 第47-48页 |
| ·不同水溶液下Cr掺杂DLC薄膜与SiC小球对磨的摩擦系数 | 第48页 |
| ·不同水溶液下薄膜与小球对磨的磨损率 | 第48-55页 |
| ·不同载荷下Cr/DLC薄膜与小球对磨的摩擦系数和磨损率 | 第55-57页 |
| ·不同速率下Cr/DLC薄膜与小球对磨的摩擦系数和磨损率 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 总结和展望 | 第60-62页 |
| ·总结 | 第60-61页 |
| ·展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第67页 |
