压电微定位系统的设计研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-15页 |
| ·课题研究的价值和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·压电陶瓷定位系统的组成 | 第10页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的研究现状 | 第10-11页 |
| ·压电陶瓷定位工作台的研究现状 | 第11页 |
| ·压电陶瓷定位系统控制方法的研究现状 | 第11-13页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 压电陶瓷的机理研究 | 第15-22页 |
| ·压电陶瓷概述 | 第15-16页 |
| ·压电/电致伸缩效应 | 第16-17页 |
| ·压电陶瓷的特性 | 第17-20页 |
| ·迟滞特性 | 第17-18页 |
| ·蠕变特性 | 第18-19页 |
| ·频率响应特性 | 第19页 |
| ·温度特性 | 第19-20页 |
| ·压电陶瓷定位器 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 压电定位平台的整体设计方案 | 第22-26页 |
| ·压电陶瓷定位系统的构成 | 第22页 |
| ·上位机控制系统 | 第22-23页 |
| ·驱动电源 | 第23页 |
| ·位移执行机构 | 第23-24页 |
| ·数据采集系统 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第4章 压电陶瓷驱动电源的设计 | 第26-39页 |
| ·电源设计要求 | 第26页 |
| ·驱动电源的结构选择 | 第26-27页 |
| ·驱动电源的硬件电路设计 | 第27-32页 |
| ·PA85 介绍 | 第27-28页 |
| ·驱动电源的硬件电路 | 第28-29页 |
| ·驱动电源的保护电路 | 第29-30页 |
| ·驱动电源的放电回路电路 | 第30-31页 |
| ·驱动电源的供电电路 | 第31-32页 |
| ·驱动电源的稳定性分析 | 第32-36页 |
| ·放大电路稳定性研究 | 第32-33页 |
| ·闭合速度与稳定性 | 第33-34页 |
| ·容性负载的稳定性补偿方法 | 第34-36页 |
| ·驱动电源的实验验证 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第5章 压电陶瓷数据采集系统的设计 | 第39-54页 |
| ·数据采集系统的整体设计 | 第39页 |
| ·检测电桥电路 | 第39-43页 |
| ·直流电桥平衡 | 第39-40页 |
| ·应变电桥的接法 | 第40-42页 |
| ·应变电桥的误差及其补偿 | 第42-43页 |
| ·数据采集系统的放大电路 | 第43-45页 |
| ·测量放大器的电路结构和原理 | 第43-44页 |
| ·放大电路的设计 | 第44-45页 |
| ·滤波电路的设计 | 第45-46页 |
| ·ARM 控制电路的设计 | 第46-51页 |
| ·控制芯片的选择 | 第47页 |
| ·ADC 模块 | 第47-48页 |
| ·DAC 模块 | 第48-50页 |
| ·USB2.0 通信接口模块 | 第50-51页 |
| ·控制器的固件设计 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第6章 压电定位平台控制系统的设计 | 第54-65页 |
| ·微定位系统的数学建模 | 第54-55页 |
| ·压电陶瓷定位器的传递函数 | 第54页 |
| ·定位工作台传递函数 | 第54-55页 |
| ·驱动系统传递函数 | 第55页 |
| ·微定位系统的传递函数 | 第55页 |
| ·定位系统的控制器设计 | 第55-59页 |
| ·PID 控制方法基本原理 | 第55-58页 |
| ·PID 控制器的参数整定方法 | 第58-59页 |
| ·PID 控制器 | 第59页 |
| ·基于 LABVIEW 语言的控制系统设计 | 第59-62页 |
| ·LabVIEW 语言简介 | 第59-60页 |
| ·基于 LabVIEW 的控制系统设计 | 第60-62页 |
| ·压电陶瓷定位系统的控制仿真 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第7章 压电微定位平台的实验研究 | 第65-69页 |
| ·定位平台的性能测试 | 第65-68页 |
| ·压电定位平台的迟滞性测试 | 第66-67页 |
| ·压电定位平台的动态性能测试 | 第67页 |
| ·压电定位平台的精度测试 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第8章 总结与展望 | 第69-70页 |
| ·总结 | 第69页 |
| ·展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
