| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·EUV光源 | 第8-10页 |
| ·LPP光源碎屑问题概述 | 第10-12页 |
| ·研究意义及研究进展 | 第12-14页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 双脉冲激光产生等离子体基本理论 | 第16-23页 |
| ·等离子体基本概念 | 第16-17页 |
| ·等离子体对激光的吸收机制 | 第17-19页 |
| ·双脉冲降低离子动能的机制 | 第19-20页 |
| ·预脉冲的选择原则 | 第20-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 真空下的双脉冲激光Gd等离子体光源的碎屑动力学研究 | 第23-34页 |
| ·主要实验装置 | 第23-25页 |
| ·基本实验方法 | 第25-26页 |
| ·飞行时间法介绍以及单脉冲下的Gd离子飞行时间谱 | 第26-27页 |
| ·单脉冲激光Gd等离子体中离子动能角度分布 | 第27-28页 |
| ·双脉冲Gd等离子体光源碎屑的优化研究 | 第28-30页 |
| ·双脉冲Gd激光等离子体中离子动能角度分布 | 第30-32页 |
| ·章节小结 | 第32-34页 |
| 第四章 背景气体对双脉冲Gd激光等离子体中离子碎屑的阻挡作用研究 | 第34-49页 |
| ·气体停止能力公式 | 第34-35页 |
| ·极紫外辐射光在气体中传输率的模拟 | 第35-36页 |
| ·单脉冲下背景气体对Gd离子碎屑动能的阻挡研究 | 第36-39页 |
| ·双脉冲下背景气体对Gd离子碎屑动能的阻挡研究 | 第39-47页 |
| ·章节小结 | 第47-49页 |
| 第五章 总结与展望 | 第49-50页 |
| ·总结 | 第49页 |
| ·展望 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |