| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·透明导电氧化物薄膜简介 | 第8-9页 |
| ·透明导电氧化物的发展 | 第9页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的应用 | 第9页 |
| ·氧化锌材料简介 | 第9-14页 |
| ·氧化锌晶体结构 | 第10-11页 |
| ·ZnO薄缺陷 | 第11-12页 |
| ·氧化锌薄膜的掺杂 | 第12-14页 |
| ·氧化锌薄膜特性 | 第14-15页 |
| ·氧化锌薄膜光电性质特性 | 第14-15页 |
| ·氧化锌薄膜的压敏特性 | 第15页 |
| ·氧化锌薄膜的压电特性 | 第15页 |
| ·氧化锌薄膜的气敏特性 | 第15页 |
| ·氧化锌薄膜国内外研究进展 | 第15-17页 |
| ·氧化锌薄膜的制备方法 | 第17-19页 |
| ·磁控溅射法 | 第17-18页 |
| ·分子束外延 | 第18页 |
| ·激光脉冲沉积 | 第18页 |
| ·原子层沉积 | 第18页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18-19页 |
| ·论文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 溶胶-凝胶法在氧化锌材料研究中的应用 | 第20-26页 |
| ·溶胶-凝胶法概述 | 第20-22页 |
| ·溶胶-凝胶法发展 | 第20-21页 |
| ·溶胶-凝胶法优缺点 | 第21页 |
| ·溶胶-凝胶法的工艺流程 | 第21-22页 |
| ·影响溶胶-凝胶法制备样品的因素 | 第22页 |
| ·溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜 | 第22-23页 |
| ·溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜方法 | 第23-26页 |
| ·ZnO薄膜制备工艺流程 | 第23页 |
| ·选择基片 | 第23页 |
| ·清洗基片 | 第23-24页 |
| ·准备溶胶 | 第24页 |
| ·涂胶 | 第24-25页 |
| ·薄膜预处理 | 第25页 |
| ·薄膜热处理 | 第25页 |
| ·复涂 | 第25-26页 |
| 第三章 氧化锌薄膜的结构及光学性质研究 | 第26-32页 |
| ·薄膜晶体结构性质研究 | 第26-28页 |
| ·前驱体浓度对ZnO薄膜结构的影响 | 第26-27页 |
| ·退火温度ZnO薄膜结构的影响 | 第27-28页 |
| ·薄膜的吸收和透射特性 | 第28-30页 |
| ·退火温度对薄膜透射的影响 | 第28-29页 |
| ·涂覆层数对薄膜透射的影响 | 第29-30页 |
| ·退火温度对薄膜吸收性质的影响 | 第30页 |
| ·薄膜光致发光性质研究 | 第30-31页 |
| ·退火温度对薄膜PL谱的影响 | 第31页 |
| ·薄膜电学性质的研究 | 第31-32页 |
| 第四章 Mg_xZn_(1-x)O/Au/Mg_xZn_(1-x)O夹层结构导电薄膜的制备及物性研究 | 第32-42页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备及物性研究 | 第32-36页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备过程 | 第32页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O薄膜的晶体结构分析 | 第32-33页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O薄膜的光学性质分析 | 第33-36页 |
| ·Mg_(0.2)Zn_(0.8)O薄膜的电学性质分析 | 第36页 |
| ·Au颗粒膜的制备及物性研究 | 第36-37页 |
| ·制备过程 | 第36页 |
| ·结构及光学性质分析 | 第36-37页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O/Au/Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备及物性研究 | 第37-42页 |
| ·制备过程 | 第37页 |
| ·对Mg_xZn_(1-x)O/Au/Mg_xZn_(1-x)O的晶体结构研究 | 第37-39页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O/Au/Mg_xZn_(1-x)O薄膜的光学性质分析 | 第39-41页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O/Au/Mg_xZn_(1-x)O电学性质分析 | 第41-42页 |
| 结论 | 第42-43页 |
| 致谢 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
