精密相位移微动平台系统研究与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·微动平台发展现状 | 第7-11页 |
| ·研究目的和意义 | 第11-12页 |
| ·主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 计算法和微动平台精度的确定 | 第13-22页 |
| ·莫尔条纹概述 | 第13页 |
| ·莫尔测量法原理概述 | 第13-15页 |
| ·相移算法及所用相移算法的确定 | 第15-17页 |
| ·相位移量及微动平台位移精度的确定 | 第17-21页 |
| 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 微动平台结构设计 | 第22-42页 |
| ·微位移技术概述 | 第22-26页 |
| ·微动平台主要器件选取和设计 | 第26-35页 |
| ·电机轴和载物台连接方式阐述 | 第35-37页 |
| ·加热器设计 | 第37-40页 |
| ·微动平台实现运动的力校核 | 第40-41页 |
| 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 接触调整和温度控制及微动平台控制 | 第42-47页 |
| ·电机和载物台接触调整 | 第42-43页 |
| ·温度控制 | 第43-45页 |
| ·电机控制和微动平台计算机总体控制 | 第45-46页 |
| 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 静力学分析和结构热分析 | 第47-54页 |
| ·电机支撑座静力学分析 | 第47-50页 |
| ·载物台结构热分析 | 第50-53页 |
| 本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 总结与展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |
