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10G bit/s 850nm垂直腔表面发射激光器的设计与研制

摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第1章 绪论第7-20页
   ·VCSEL 介绍第7-10页
   ·VCSEL 的发展历史及研究现状第10-15页
     ·VCSEL 的发展历史第10-12页
     ·VCSEL 的研究现状第12-15页
   ·不同结构的 VCSEL第15-17页
   ·本论文研究背景及意义第17-18页
   ·本论文主要研究内容第18-20页
     ·论文研究的主要内容第18-19页
     ·论文结构安排第19-20页
第2章 VCSEL 的理论分析第20-33页
   ·量子阱理论分析第20-23页
     ·非应变量子阱第20-21页
     ·势垒材料的选取第21-22页
     ·量子阱能级计算第22-23页
   ·DBR 理论分析第23-26页
     ·DBR 反射率计算第24-26页
     ·DBR 损耗第26页
   ·光场分析第26-29页
   ·热特性分析第29-33页
     ·温度对禁带宽度的影响第29页
     ·温度对 DBR 的影响第29-31页
     ·温度对漏电流的影响第31-33页
第3章 VCSEL 的工艺介绍第33-49页
   ·材料生长第33-37页
   ·表面工艺第37-49页
     ·腐蚀工艺第37-39页
     ·光刻工艺第39-42页
     ·湿法氧化工艺第42-44页
     ·平坦化工艺第44-46页
     ·欧姆接触工艺第46-49页
第4章 VCSEL 的测试及分析第49-56页
   ·光电特性测试第49-52页
   ·眼图第52-56页
第5章 总结与展望第56-57页
参考文献第57-60页
致谢第60-61页
附录 1 硕士期间发表的论文情况第61-62页
附录 2 主要英文缩写语对照表第62页

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