10G bit/s 850nm垂直腔表面发射激光器的设计与研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-20页 |
| ·VCSEL 介绍 | 第7-10页 |
| ·VCSEL 的发展历史及研究现状 | 第10-15页 |
| ·VCSEL 的发展历史 | 第10-12页 |
| ·VCSEL 的研究现状 | 第12-15页 |
| ·不同结构的 VCSEL | 第15-17页 |
| ·本论文研究背景及意义 | 第17-18页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第18-20页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第18-19页 |
| ·论文结构安排 | 第19-20页 |
| 第2章 VCSEL 的理论分析 | 第20-33页 |
| ·量子阱理论分析 | 第20-23页 |
| ·非应变量子阱 | 第20-21页 |
| ·势垒材料的选取 | 第21-22页 |
| ·量子阱能级计算 | 第22-23页 |
| ·DBR 理论分析 | 第23-26页 |
| ·DBR 反射率计算 | 第24-26页 |
| ·DBR 损耗 | 第26页 |
| ·光场分析 | 第26-29页 |
| ·热特性分析 | 第29-33页 |
| ·温度对禁带宽度的影响 | 第29页 |
| ·温度对 DBR 的影响 | 第29-31页 |
| ·温度对漏电流的影响 | 第31-33页 |
| 第3章 VCSEL 的工艺介绍 | 第33-49页 |
| ·材料生长 | 第33-37页 |
| ·表面工艺 | 第37-49页 |
| ·腐蚀工艺 | 第37-39页 |
| ·光刻工艺 | 第39-42页 |
| ·湿法氧化工艺 | 第42-44页 |
| ·平坦化工艺 | 第44-46页 |
| ·欧姆接触工艺 | 第46-49页 |
| 第4章 VCSEL 的测试及分析 | 第49-56页 |
| ·光电特性测试 | 第49-52页 |
| ·眼图 | 第52-56页 |
| 第5章 总结与展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 附录 1 硕士期间发表的论文情况 | 第61-62页 |
| 附录 2 主要英文缩写语对照表 | 第62页 |