| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1. 引言 | 第7-16页 |
| ·选题依据 | 第7-8页 |
| ·氧化锌简介 | 第8-9页 |
| ·氧化锌、铒掺杂氧化锌、镱铒共掺氧化锌体系材料选择 | 第9-10页 |
| ·稀土简介 | 第10-11页 |
| ·稀土掺杂氧化锌的研究进展 | 第11-15页 |
| ·本论文的主要内容 | 第15-16页 |
| 2. 超声雾化法制备 Er:Yb:ZnO 工艺 | 第16-20页 |
| ·热解沉积原理 | 第16-17页 |
| ·稀土元素掺杂的氧化锌薄膜制备 | 第17-20页 |
| ·基底的选择 | 第17页 |
| ·前驱液的制备 | 第17-18页 |
| ·实验过程 | 第18-20页 |
| 3.氧化锌及稀土掺氧化锌薄膜材料的表征 | 第20-27页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第20-22页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM）测试 | 第22-27页 |
| 4. 稀土掺杂氧化锌薄膜的光致发光谱 | 第27-37页 |
| ·氧化锌、氧化锌掺杂薄膜激发谱 | 第28-32页 |
| ·不同浓度稀土离子单掺氧化锌荧光光谱 | 第32-34页 |
| ·514 nm 激发波长荧光光谱测量 | 第34-37页 |
| 5.结论与展望 | 第37-39页 |
| ·本工作的总结 | 第37页 |
| ·本工作的展望 | 第37-39页 |
| 参考文献 | 第39-42页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第42-43页 |
| 致谢 | 第43页 |