| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 文献综述 | 第11-31页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·金刚石的结构 | 第12页 |
| ·金刚石结构的特殊性能 | 第12-13页 |
| ·金刚石单晶的制备方法 | 第13-21页 |
| ·高温高压(HTHP)法 | 第13-14页 |
| ·化学气相沉积(CVD)法 | 第14-17页 |
| ·CVD 金刚石的生长机理 | 第17-19页 |
| ·CVD 金刚石的生长模式 | 第19-21页 |
| ·CVD 金刚石的研究进展 | 第21-30页 |
| ·CVD 金刚石单晶研究进展 | 第21-24页 |
| ·CVD 金刚石单晶应用领域 | 第24-30页 |
| ·本课题研究目的和意义 | 第30-31页 |
| 第二章 实验装置和表征手段 | 第31-39页 |
| ·实验装置 | 第31-35页 |
| ·样品的表征 | 第35-39页 |
| ·光学金相显微镜 | 第35页 |
| ·扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscopy，SEM） | 第35-36页 |
| ·激光拉曼光谱（Raman） | 第36-39页 |
| 第三章 MPCVD 制备大颗粒金刚石的研究 | 第39-65页 |
| ·HTHP 金刚石作为同质外延衬底材料的研究 | 第39-47页 |
| ·金刚石籽晶的选择 | 第39-40页 |
| ·衬底的预处理 | 第40页 |
| ·碳源浓度对同质外延金刚石生长的影响 | 第40-43页 |
| ·温度对外延 CVD 单晶金刚石的影响 | 第43-46页 |
| ·实验结论 | 第46-47页 |
| ·大颗粒单晶金刚石的制备及生长机理分析 | 第47-54页 |
| ·单晶金刚石的实验条件 | 第47-48页 |
| ·实验结果与讨论 | 第48-54页 |
| ·通过控制生长参数制备大颗粒生长的研究 | 第54-65页 |
| ·大颗粒金刚石的生长实验 | 第54-55页 |
| ·孪晶的形成 | 第55-56页 |
| ·内层金刚石晶粒的生长状况 | 第56-57页 |
| ·中部金刚石晶粒的生长状况 | 第57-58页 |
| ·外层金刚石晶粒的生长状况 | 第58-60页 |
| ·孪晶形成的机理及讨论 | 第60-65页 |
| 第四章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-75页 |
| 攻读硕士期间已发表的论文 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |