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纳米压印光刻胶的设计、合成及性能

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-13页
第一章 绪论第13-34页
   ·纳米压印背景介绍第13-14页
   ·纳米压印光刻技术原理与分类第14-16页
   ·有机硅光刻胶用于紫外纳米压印第16-27页
     ·光刻胶性能对纳米压印的影响第16-17页
     ·有机硅紫外纳米压印光刻胶第17-27页
   ·纳米压印构筑功能化表面第27-29页
   ·纳米压印光刻技术中摩擦学第29-32页
   ·论文研究目的和主要内容第32-34页
     ·紫外纳米压印光刻胶研究现状第32-33页
     ·研究内容第33页
     ·课题创新点第33-34页
第二章 实验部分第34-41页
   ·实验原料与设备第34-35页
   ·实验仪器第35页
   ·紫外压印及图形转移第35-36页
   ·测试与表征第36-41页
第三章 结果与讨论第41-70页
   ·MA0735 光刻胶体系性能测试及紫外纳米压印第41-55页
     ·光刻胶的组成第41-43页
     ·双官能团单体的选择第43-50页
     ·MA0735 体系光刻胶的配制和性能测试第50-55页
     ·压印与图案化第55页
   ·MA-POSS 光刻胶的合成与表征第55-65页
     ·MA-POSS 的合成第55-59页
     ·MA-POSS 合成工艺条件的优化第59-63页
     ·MA-POSS 光刻胶的制备与性能第63-65页
     ·压印与图案化第65页
   ·MA-F-POSS 光刻胶的合成与表征第65-70页
     ·MA-F-POSS 的合成第65-67页
     ·MA-F-POSS 低表面能光刻胶的制备与性能第67-68页
     ·压印与图案化第68-70页
总结与展望第70-71页
参考文献第71-75页
研究生期间发表论文(待发表)第75-76页
致谢第76-77页
作者和导师简介第77-78页
硕士研究生学位论文答辩委员会决议书第78-79页

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