双波段红外探测器波长可调结构的研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-17页
·课题背景	第8页
·非制冷红外探测器技术	第8-12页
·非制冷红外探测器技术的概述	第8-10页
·非制冷红外探测器技术的微桥结构	第10-12页
·双波段红外探测器的背景及发展	第12-15页
·论文的主要工作	第15-17页
·选题意义	第15-16页
·研究内容	第16-17页
第二章 双波段热成像系统	第17-24页
·波长可调结构的基本原理	第17-21页
·双波段红外探测器的工作原理	第21-23页
·本章小结	第23-24页
第三章 双波段红外探测器波长可调结构的设计及仿真	第24-49页
·IntelliSuite软件简介	第24-25页
·双波段红外探测器波长可调结构的设计	第25-29页
·双波段红外探测器波长可调结构的版图设计	第25-27页
·双波段红外探测器波长可调结构工艺设计	第27-29页
·双波段红外探测器波长可调结构的电力学性能	第29-37页
·电力学性能介绍	第29-30页
·双波段红外探测器波长可调结构的电力学仿真	第30-37页
·双波段红外探测器波长可调结构的光学仿真	第37-48页
·多层膜系的特征矩阵	第38-43页
·双波段红外探测器波长可调结构的光学仿真	第43-48页
·本章小结	第48-49页
第四章 双波段红外探测器波长可调结构的制备	第49-62页
·光刻工艺流程	第50页
·工艺的关键参数	第50-53页
·光刻工艺	第50-52页
·光刻胶厚度的研究	第52-53页
·留膜率	第53页
·双波段红外探测器波长可调结构的制备	第53-56页
·实验结果分析	第56-61页
·本章小结	第61-62页
第五章 总结与展望	第62-64页
·本文工作总结	第62-63页
·本文工作展望	第63-64页
致谢	第64-65页
参考文献	第65-69页
攻硕期间取得的研究成果	第69页