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LiCoO2正极薄膜和Sn-Ti负极薄膜的磁控溅射法制备及性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-23页
   ·锂离子电池第9-11页
     ·引言第9-10页
     ·锂离子电池工作原理第10-11页
   ·薄膜锂离子电池发展现状第11-13页
   ·锂离子电池正极材料第13-18页
     ·钴酸锂第14-15页
     ·锰酸锂第15页
     ·磷酸铁锂第15-16页
     ·磁控溅射法制备钴酸锂正极材料研究进展第16-18页
   ·锂离子电池负极材料第18-21页
     ·碳基材料第18-19页
     ·锡基负极材料第19-21页
   ·本论文的研究思路和论文组织结构第21-23页
     ·论文的研究思路第21-22页
     ·本论文的组织结构第22-23页
第二章 实验设备及实验过程第23-30页
   ·薄膜的制备第23-25页
     ·磁控溅射原理第23-24页
     ·钴酸锂薄膜的制备第24-25页
     ·锡钛合金薄膜的制备第25页
   ·薄膜的结构于形貌表征第25-28页
     ·薄膜结构分析-X射线衍射分析(XRD)第25-27页
     ·薄膜形貌分析-扫描电子显微镜(SEM)第27-28页
   ·电化学性能测试第28-30页
     ·电池组装第28页
     ·恒流充放电测试第28-29页
     ·循环伏安法第29-30页
第三章 钴酸锂薄膜的制备与研究第30-51页
   ·靶材的制备第30-32页
   ·实验条件第32-33页
   ·溅射功率的影响第33-34页
   ·基片对薄膜的影响第34-37页
   ·不同沉积温度实验第37-41页
     ·沉积温度对薄膜结构影响的表征第37-39页
     ·不同沉积温度LiCoO_2薄膜充放电性能测试第39-41页
   ·氧分压对薄膜的影响第41-49页
     ·不同氧分压沉积薄膜结构及表征第41-45页
     ·不同氧分压沉积薄膜的电化学性能测试第45-49页
   ·沉积后退火对薄膜影响第49页
   ·本章总结第49-51页
第四章 锡钛薄膜的制备与研究第51-68页
   ·纯锡薄膜第51-55页
     ·Li-Sn合金的电位特征第51-52页
     ·锡薄膜结构与表征第52页
     ·不同厚度锡薄膜充放电测试分析第52-55页
   ·Ti/Sn薄膜第55-61页
     ·钛基底沉积不同厚度锡薄膜的结构和表征第55-58页
     ·钛基底沉积不同厚度锡充放电性能测试第58-61页
   ·Sn/Ti薄膜第61-66页
     ·锡薄膜沉积不同厚度钛薄膜的表征第61-64页
     ·锡薄膜沉积不同厚度钛薄膜的电化学性能测试第64-65页
     ·钛锡合金容量衰减原因探讨第65-66页
   ·本章总结第66-68页
第五章 结论第68-70页
致谢第70-71页
参考文献第71-76页
攻读硕士期间所取得的成果第76页

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