| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 前言 | 第9-11页 |
| 第2章 综述 | 第11-31页 |
| ·氧化锌简介 | 第11-13页 |
| ·氧化锌的基本性质及晶体结构 | 第11-12页 |
| ·氧化锌薄膜的光电特性 | 第12页 |
| ·氧化锌薄膜的其他特性 | 第12-13页 |
| ·ZnO薄膜的制备与应用 | 第13-23页 |
| ·ZnO基薄膜的制备方法简介 | 第13-18页 |
| ·ZnO薄膜的主要应用 | 第18-23页 |
| ·Al掺杂ZnO(AZO)薄膜的研究进展和应用前景 | 第23-29页 |
| ·掺杂ZnO薄膜的特性及n型掺杂 | 第23-25页 |
| ·AZO薄膜的研究进展及应用 | 第25-28页 |
| ·柔性TCO薄膜研究进展 | 第28-29页 |
| ·本课题研究目标与研究内容 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 柔性AZO/PET薄膜的制备 | 第31-43页 |
| ·磁控溅射技术基本原理 | 第31-35页 |
| ·磁控溅射技术发展 | 第31-32页 |
| ·磁控溅射实验原理 | 第32-35页 |
| ·射频磁控溅射特点及优势 | 第35页 |
| ·射频反应磁控溅射制备柔性AZO/PET薄膜 | 第35-37页 |
| ·JCP-200磁控溅射系统及制备工艺 | 第35-36页 |
| ·生长参数对薄膜质量的影响 | 第36-37页 |
| ·柔性AZO/PET薄膜样品的制备参数 | 第37页 |
| ·薄膜生长过程研究 | 第37-42页 |
| ·薄膜生长的成核过程 | 第37-39页 |
| ·薄膜生长模式 | 第39-40页 |
| ·薄膜生长过程的蒙特卡罗模拟 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 柔性AZO/PET薄膜的结构表征 | 第43-59页 |
| ·柔性AZO/PET薄膜的表面组分 | 第43-46页 |
| ·X射线能量色散仪(EDS)测量原理 | 第43页 |
| ·不同条件下生长的柔性AZO/PET薄膜的EDS分析 | 第43-46页 |
| ·柔性AZO/PET薄膜的表面形貌 | 第46-48页 |
| ·原子力显微镜(AFM)测试原理 | 第46-47页 |
| ·不同条件下生长的柔性AZO/PET薄膜表面形貌的AFM测试与研究 | 第47-48页 |
| ·柔性AZO/PET薄膜的晶体结构 | 第48-57页 |
| ·X射线衍射(XRD)测量原理 | 第48-49页 |
| ·不同条件下生长的柔性AZO/PET薄膜晶体结构的XRD分析 | 第49-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第5章 柔性AZO/PET薄膜的光学性质 | 第59-72页 |
| ·柔性AZO/PET薄膜紫外红外光吸收特性 | 第59-63页 |
| ·透射—吸收光谱原理 | 第59-60页 |
| ·不同条件下生长的柔性AZO/PET薄膜的透射—吸收光谱分析 | 第60-63页 |
| ·柔性AZO/PET薄膜的光致发光特性 | 第63-69页 |
| ·光致发光光谱(PL)原理 | 第63-64页 |
| ·不同条件下生长的柔性AZO/PET薄膜的PL谱研究 | 第64-69页 |
| ·柔性AZO/PET薄膜的发光机制分析 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第6章 总结 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 硕士期间论文成果 | 第81页 |
