| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-45页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·纳米多层膜高温下微结构的演化 | 第14-34页 |
| ·完全互溶纳米多层膜微结构的演化 | 第15-21页 |
| ·置换型互扩散动力学的理论研究 | 第21-24页 |
| ·完全不互溶纳米多层膜微结构的演化 | 第24-28页 |
| ·热致沟槽的理论研究 | 第28-34页 |
| ·本课题的研究目的和意义 | 第34-35页 |
| 参考文献 | 第35-45页 |
| 第二章 共格纳米多层膜互扩散动力学 | 第45-63页 |
| ·共格纳米多层膜中的共格应力与弹性能 | 第45-50页 |
| ·弹性模型 | 第45-47页 |
| ·共格纳米多层膜中的弹性应力 | 第47-50页 |
| ·扩散动力学 | 第50-56页 |
| ·无空位源多层膜体系中的扩散势与扩散通量 | 第50-52页 |
| ·理想空位源多层膜体系中的扩散势与扩散通量 | 第52-54页 |
| ·输运系数 | 第54-56页 |
| ·扩散控制方程与数值方法 | 第56-60页 |
| ·扩散控制方程及其无维化 | 第56-58页 |
| ·数值方法 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 第三章 共格应力和空位源对界面锐化和混溶速率的影响 | 第63-98页 |
| ·材料参数与初始条件 | 第63-66页 |
| ·模拟结果 | 第66-78页 |
| ·共格 Mo/V 多层膜中的界面锐化 | 第67-70页 |
| ·共格 Cu/Ni 多层膜中的界面锐化 | 第70-72页 |
| ·温度对界面锐化的影响 | 第72-73页 |
| ·共格应力对混溶速率的影响 | 第73-75页 |
| ·空位源对混溶速率的影响 | 第75-76页 |
| ·弹性非均匀性对界面锐化和混溶速率的影响 | 第76-78页 |
| ·结果讨论 | 第78-93页 |
| ·界面锐化的形成条件 | 第78-80页 |
| ·无空位源和密集空位源两种情况下的混溶速率特征 | 第80-83页 |
| ·共格应力对界面锐化和混溶速率的影响规律 | 第83-87页 |
| ·模型的适用性 | 第87-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-98页 |
| 第四章 不互溶纳米多层膜“Z”字型微结构的形成机理 | 第98-120页 |
| ·不互溶纳米多层膜微结构演化模型 | 第98-105页 |
| ·初始构型 | 第98-100页 |
| ·相界的运动 | 第100-101页 |
| ·晶界的运动 | 第101-102页 |
| ·三叉点的运动 | 第102-103页 |
| ·三叉点与相界的协调性运动 | 第103-105页 |
| ·模拟结果 | 第105-113页 |
| ·“Z”字型微结构的形成 | 第107-109页 |
| ·“Z”字型稳定微结构形成图谱 | 第109-111页 |
| ·三叉点迁移率对热致沟槽动力学的影响 | 第111-113页 |
| ·“Z”字型微结构形成机理 | 第113-114页 |
| ·不同初始结构的多层膜的稳定性比较 | 第114-116页 |
| ·经典 t1/4定律的适用性 | 第116-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 参考文献 | 第118-120页 |
| 第五章 结论 | 第120-123页 |
| 创新点 | 第123-124页 |
| 附录 | 第124-129页 |
| 附录 A. 弹性与结构非均匀体中弹性能对无应力应变和弹性模量的泛函求导 | 第124-127页 |
| A.1 弹性能对无应力应变的泛函求导 | 第124-125页 |
| A.2 弹性能对弹性模量的泛函求导 | 第125-127页 |
| 附录 B. 具有相同晶界能的不互溶多层膜的稳定性判据 | 第127-129页 |
| 攻读博士学位期间已发表或拟发表的学术论文 | 第129-130页 |
| 致谢 | 第130页 |
