| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-27页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·软磁薄膜材料的发展 | 第12-15页 |
| ·永磁磁存储薄膜材料的发展历程 | 第15-19页 |
| ·巨磁阻效应及巨磁阻磁头薄膜材料的发展动态 | 第19-25页 |
| ·巨磁阻(GMR)效应 | 第20-21页 |
| ·巨磁电阻薄膜的主要类型 | 第21-25页 |
| ·本论文的主要内容和研究方法 | 第25-27页 |
| 第二章 薄膜磁性与磁矩动力学理论 | 第27-39页 |
| ·磁性薄膜微波磁导率理论 | 第27-29页 |
| ·磁性薄膜的磁谱与共振频率 | 第29-30页 |
| ·薄膜晶粒与软磁性能关系 | 第30-31页 |
| ·巨磁电阻薄膜材料与器件理论基础 | 第31-39页 |
| ·薄膜传输线模型 | 第32-34页 |
| ·巨磁电阻薄膜微磁学模型 | 第34-36页 |
| ·磁头微区畴动力学方程及薄膜磁矩M分布 | 第36-39页 |
| 第三章 单层/多层软磁纳米薄膜的制备、表征和测试研究 | 第39-63页 |
| ·实验使用的设备 | 第39-46页 |
| ·溅射设备与原理 | 第39-40页 |
| ·磁性测量——振动样品磁强计(VSM) | 第40-41页 |
| ·高频磁导率测量研究 | 第41-46页 |
| ·基于不同衬底层FeCo软磁薄膜影响研究 | 第46-52页 |
| ·溅射气压和功率对FeCo薄膜磁性能的影响研究 | 第46-47页 |
| ·底层厚度对双层薄膜磁性能的影响 | 第47-52页 |
| ·CoNbZr/FeCo薄膜磁性能与结构研究 | 第47-50页 |
| ·NiFe/FeCo薄膜的磁性能 | 第50-51页 |
| ·NiFe/FeCo薄膜复磁导率测试研究 | 第51-52页 |
| ·倾斜溅射对FeCo磁性能影响研究 | 第52-54页 |
| ·NiFe/FeCo/Oxide多层膜磁性能研究 | 第54-58页 |
| ·FeCoO氧化层对多层膜性能的影响 | 第54-56页 |
| ·氧气流量和FeCoO厚度对薄膜电阻率的影响 | 第56-57页 |
| ·NiFe/FeCo/FeCoO多层膜复磁导率研究 | 第57-58页 |
| ·NiFe/FeCo/NiO磁性能研究 | 第58-61页 |
| ·NiO厚度对薄膜磁性的影响研究 | 第59-60页 |
| ·NiFe/FeCo/NiO多层膜复磁导率研究 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61-63页 |
| 第四章 CoFe_2O_4薄膜的制备、表征和测试研究 | 第63-93页 |
| ·实验方法及过程 | 第63-69页 |
| ·基片清洗 | 第63-64页 |
| ·电化学氧化沉积法制备CoFe_2O_4薄膜 | 第64-66页 |
| ·FeCo电镀液的组成及工艺条件对电沉积合金成分的影响分析 | 第66-68页 |
| ·电化学沉积测试与分析设备及方法 | 第68-69页 |
| ·电镀液中各组分的浓度与电化学沉积工艺参数对FeCo镀层中铁含量的影响 | 第69-73页 |
| ·FeSO_4的浓度对FeCo镀层中铁含量的影响规律 | 第69-70页 |
| ·糖精浓度对FeCo镀层中铁含量的影响 | 第70-71页 |
| ·体系PH值对FeCo镀层中铁含量的影响 | 第71-72页 |
| ·电流密度对FeCo镀层中铁含量的影响 | 第72-73页 |
| ·电镀液温度对FeCo镀层合金中铁含量的影响 | 第73页 |
| ·电镀液各组份浓度和电镀工艺条件对沉积速率的影响 | 第73-79页 |
| ·FeSO_4浓度和CoSO_4浓度对沉积速率的影响 | 第73-74页 |
| ·糖精浓度对合金镀层沉积速率的影响 | 第74-75页 |
| ·PH值对FeCo合金沉积速率的影响 | 第75-76页 |
| ·电流密度对FeCo合金沉积速率的影响 | 第76-77页 |
| ·电镀液温度对FeCo合金沉积速率的影响 | 第77-79页 |
| ·电化学沉积氧化法制备CoFe_2O_4薄膜的微观结构和磁性能 | 第79-84页 |
| ·CoFe_2O_4/Cu/Si薄膜的电化学沉积氧化法制备 | 第79页 |
| ·CoFe_2O_4/Cu/Si薄膜的微观结构与形貌分析 | 第79-84页 |
| ·磁控溅射制备CoFe_2O_4薄膜微观结构和磁性能研究 | 第84-91页 |
| ·磁控溅射沉积CoFe_2O_4薄膜 | 第85页 |
| ·磁控溅射CoFe_2O_4/Cu/Si(100)薄膜的微观结构与形貌分析 | 第85-91页 |
| ·小结 | 第91-93页 |
| 第五章 软磁/永磁薄膜在自旋阀传感单元磁头中应用基础研究 | 第93-115页 |
| ·巨磁电阻硬盘读磁头建模及计算机模拟设计 | 第93-98页 |
| ·新型自旋阀读磁头物理模型 | 第93-95页 |
| ·设计软件实现的框图 | 第95-96页 |
| ·输出电压信号波形分析 | 第96-98页 |
| ·磁阻(MR)和巨磁电阻(GMR)测试系统研究 | 第98-103页 |
| ·巨磁电阻(GMR)效应 | 第98-99页 |
| ·GMR效应测试模型及原理 | 第99-101页 |
| ·GMR效应测试装置方框图及基本功能 | 第101-102页 |
| ·GMR效应测量曲线及数据分析 | 第102-103页 |
| ·Sm_2Fe_(17)N_δ薄膜的晶体结构和磁学性能 | 第103-108页 |
| ·磁传感磁头样品的制备与性能测试 | 第108-114页 |
| ·小结 | 第114-115页 |
| 第六章 总结 | 第115-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 参考文献 | 第120-129页 |
| 攻读博士期间取得的研究成果 | 第129页 |
