皮秒激光加工系统与精细钻孔工艺的研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-6页
目录	第6-8页
第1章 绪论	第8-20页
·引言	第8-11页
·皮秒激光微加工的优势及发展方向	第11-18页
·皮秒激光微加工优势	第11-12页
·皮秒激光微加工应用	第12-15页
·皮秒激光研究现状及发展方向	第15-18页
·课题研究的来源和论文主要内容	第18-20页
·课题来源	第18页
·研究的主要内容	第18-20页
第2章 激光与材料相互作用机理的研究	第20-28页
·激光打孔的光束特性	第20-21页
·激光与材料作用一般规律	第21-24页
·激光与物质相互作用的能量转换	第22页
·材料的吸收率	第22-24页
·脉冲激光金属烧蚀机理分析	第24-27页
·纳秒激光去除加工过程	第25页
·飞秒激光去除加工过程	第25-26页
·皮秒激光去除加工过程	第26-27页
·本章小结	第27-28页
第3章 皮秒激光加工系统设计	第28-38页
·加工用皮秒激光器	第28-32页
·激光传输光学系统	第32-34页
·激光导光系统	第32-33页
·激光聚焦用光学系统	第33-34页
·激光加工用四轴精密位移平台及控制软件	第34-36页
·辅助测量设备	第36页
·本章小结	第36-38页
第4章 皮秒激光打孔工艺实验及结果分析	第38-56页
·金属烧蚀阈值的测定	第38-42页
·脉冲能量对激光打孔质量的影响	第42-44页
·打孔方式对微孔质量与的关系	第44-49页
·激光打孔方式介绍	第44-46页
·环切打孔实验	第46-49页
·辅助气体对打孔效果的影响	第49-52页
·高径深比微孔加工存在问题及解决方案	第52-53页
·本章小结	第53-56页
结论	第56-57页
参考文献	第57-62页
攻读硕士学位期间获得的研究成果	第62-64页
致谢	第64页