| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题背景 | 第9-12页 |
| ·半导体晶圆制造系统 | 第9页 |
| ·Interbay 自动化物料运输系统 | 第9-10页 |
| ·Interbay 物料运输系统调度问题 | 第10-12页 |
| ·研究Interbay 物料运输系统调度的意义 | 第12页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第12-15页 |
| ·基于直接指派策略的Interbay 物料运输实时优化调度方法研究 | 第12-13页 |
| ·基于晶圆工件优先级排序的Interbay 物料运输实时优化调度方法研究 | 第13-14页 |
| ·晶圆工件排序和指派过程结合的Interbay 物料运输优化调度方法研究 | 第14页 |
| ·研究现状小结 | 第14-15页 |
| ·研究目标和内容 | 第15-16页 |
| ·研究目标 | 第15页 |
| ·研究内容 | 第15-16页 |
| ·论文结构 | 第16-18页 |
| 第二章 INTERBAY物料运输调度最优指派方法研究 | 第18-36页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·Interbay 物料运输最优指派问题描述 | 第18-19页 |
| ·基于MHAFLC 的Interbay 物料运输实时最优指派调度方法 | 第19-20页 |
| ·调度方法流程 | 第19-20页 |
| ·动态重指派方法 | 第20页 |
| ·基于改进匈牙利算法的Interbay 物料运输最优指派过程 | 第20-24页 |
| ·工件运输成本模型 | 第21-22页 |
| ·算法步骤 | 第22-24页 |
| ·基于模糊逻辑控制技术的权重参数调节模型 | 第24-29页 |
| ·输入和输出变量 | 第25-26页 |
| ·输入输出变量的论域和隶属度函数 | 第26-28页 |
| ·模糊推理规则 | 第28-29页 |
| ·输出的合成与解模糊化 | 第29页 |
| ·案例分析 | 第29-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 基于复合启发式规则的INTERBAY物料运输系统全局优化调度方法研究 | 第36-54页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·基于复合启发式规则的Interbay 物料运输调度问题 | 第36-39页 |
| ·问题描述 | 第36-37页 |
| ·目标模型 | 第37-39页 |
| ·基于遗传规划的Interbay 复合启发式调度规则生成算法 | 第39-48页 |
| ·编码规则 | 第41页 |
| ·进化过程 | 第41-43页 |
| ·局部搜索策略 | 第43-44页 |
| ·适应度评价方法 | 第44-48页 |
| ·案例分析 | 第48-53页 |
| ·案例数据 | 第48-49页 |
| ·复合规则性能分析 | 第49-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 基于并行多目标遗传算法的INTERBAY最优指派方法 | 第54-76页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·晶圆工件调度与小车运输调度相结合的优化调度问题 | 第54-59页 |
| ·问题描述 | 第54-57页 |
| ·调度问题的数学模型 | 第57-59页 |
| ·基于并行多目标遗传算法的求解策略 | 第59-71页 |
| ·PMOGA 的并行化过程 | 第59-61页 |
| ·PMOGA 的多目标进化过程 | 第61-63页 |
| ·PMOGA 的遗传算子设计 | 第63-65页 |
| ·适应度评价策略 | 第65-69页 |
| ·局部搜索策略 | 第69页 |
| ·PMOGA 执行流程 | 第69-71页 |
| ·案例分析 | 第71-75页 |
| ·计算效率分析 | 第71页 |
| ·收敛性分析 | 第71-73页 |
| ·Interbay 物料运输综合指标分析 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 INTERBAY物料运输智能调度原型系统开发 | 第76-91页 |
| ·引言 | 第76页 |
| ·需求分析 | 第76-77页 |
| ·系统设计 | 第77-84页 |
| ·原型系统实现技术 | 第77-78页 |
| ·原型系统体系结构 | 第78-80页 |
| ·数据库设计 | 第80-81页 |
| ·功能模块设计 | 第81-84页 |
| ·实例验证 | 第84-90页 |
| ·基础数据维护过程 | 第84-85页 |
| ·Interbay 物料运输调度过程 | 第85-87页 |
| ·Interbay 物料运输调度性能指标分析过程 | 第87-88页 |
| ·硬件在环仿真过程 | 第88-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 第六章 总结与展望 | 第91-93页 |
| ·论文工作总结 | 第91页 |
| ·展望 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-96页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97-99页 |
