脉冲激光沉积工艺对CIGS薄膜成分和微结构的影响

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章 绪论	第10-15页
§1.1 研究背景	第10页
§1.2 CIGS太阳电池研究进展	第10-11页
§1.3 CIGS太阳电池结构	第11-13页
§1.4 CIGS薄膜结构及性质	第13-14页
§1.5 CIGS薄膜制备方法	第14页
§1.6 研究目的及意义	第14-15页
第二章 实验原理及过程	第15-20页
§2.1 脉冲激光沉积原理及特点	第15-16页
·PLD原理	第15-16页
·PLD特点	第16页
§2.2 实验仪器及原料	第16-17页
§2.3 测试方法及设备	第17页
§2.4 实验过程	第17-20页
·PLD溅射制备CIG预制膜	第17-18页
·固态源硒化与退火	第18-20页
第三章 结果讨论	第20-28页
§3.1 晶体结构	第20-22页
·预制膜叠层顺序对晶体结构的影响	第20-21页
·溅射脉冲数对晶体结构的影响	第21-22页
§3.2 CIGS薄膜的表面形貌分析	第22-24页
·薄膜表而的SEM分析	第22-23页
·薄膜表面的AFM分析	第23-24页
§3.3 CIGS薄膜的EDX分析	第24-25页
§3.4 CIGS薄膜表面的XPS分析	第25-27页
§3.5 CIGS薄膜的光吸收特性	第27-28页
第四章 结论	第28-29页
参考文献	第29-33页
致谢	第33-34页
硕士期间发表学术论文	第34页
硕士期间参加的科研课题	第34页