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氮化硅薄膜的螺旋波PECVD及其光学特性研究

第1章 绪论第1-11页
第2章 实验原理和方法第11-16页
   ·螺旋波等离子体增强化学气相沉积第11-12页
   ·薄膜检测技术第12-16页
第3章 材料制备及特性分析第16-33页
   ·材料制备第16页
   ·实验结果及分析第16-31页
   ·小结第31-33页
第4章 富硅氮化硅薄膜的制备及特性分析第33-53页
   ·样品的制备第34页
   ·样品的特性分析第34-43页
   ·透射谱分析第43-44页
   ·光致发光谱和时间分辨谱分析第44-50页
   ·改进实验条件的有效途径第50-51页
   ·小结第51-53页
第5章 结束语第53-55页
参考文献第55-59页
致谢第59页

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