| 第1章 绪论 | 第1-11页 |
| 第2章 实验原理和方法 | 第11-16页 |
| ·螺旋波等离子体增强化学气相沉积 | 第11-12页 |
| ·薄膜检测技术 | 第12-16页 |
| 第3章 材料制备及特性分析 | 第16-33页 |
| ·材料制备 | 第16页 |
| ·实验结果及分析 | 第16-31页 |
| ·小结 | 第31-33页 |
| 第4章 富硅氮化硅薄膜的制备及特性分析 | 第33-53页 |
| ·样品的制备 | 第34页 |
| ·样品的特性分析 | 第34-43页 |
| ·透射谱分析 | 第43-44页 |
| ·光致发光谱和时间分辨谱分析 | 第44-50页 |
| ·改进实验条件的有效途径 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 第5章 结束语 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 致谢 | 第59页 |