| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·国外研究现状 | 第12-14页 |
| ·国内进展情况 | 第14页 |
| ·未来发展趋势 | 第14-15页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 2 微测辐射热计红外探测器器件理论 | 第16-43页 |
| ·红外辐射理论 | 第16-19页 |
| ·微测辐射热计物理模型 | 第19-22页 |
| ·微测辐射热计热平衡方程及求解 | 第22-29页 |
| ·微测辐射热计伏安特性和红外响应分析 | 第29-34页 |
| ·微测辐射热计噪声分析 | 第34-40页 |
| ·微测辐射热计信噪比 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 3 微米/纳米结构VO_2薄膜的制备及其性能 | 第43-60页 |
| ·二氧化钒（VO_2）晶体结构与特性 | 第43-45页 |
| ·微米/纳米结构VO_2 薄膜的制备 | 第45-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 4 微/纳VO_2线列红外探测器的制作与对比研究 | 第60-70页 |
| ·基于两种VO_2 材料的线列器件的制作工艺 | 第60-64页 |
| ·线列器件的测试理论及测试方法 | 第64-66页 |
| ·两种器件对比测试结果及讨论 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 5 柔性微米VO_2 微测辐射热计的研究 | 第70-81页 |
| ·柔性传感器及柔性衬底 | 第70-71页 |
| ·BCB 柔性衬底上制备微米VO_2 薄膜 | 第71-73页 |
| ·微米VO_2 柔性微测辐射热计的制作及性能测试 | 第73-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 6 微米VO_2在32×32 阵列微测辐射热计上的应用 | 第81-96页 |
| ·32×32 阵列微测辐射热计的制作工艺流程 | 第81-89页 |
| ·32×32 阵列器件的测试 | 第89-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 7 纳米VO_2 的其他应用 | 第96-102页 |
| ·纳米结构VO_2 薄膜在智能窗上的应用及其可见光区透过率的改善 | 第96-98页 |
| ·纳米结构VO_2 薄膜在光开关上的应用 | 第98-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 8 本文总结及课题展望 | 第102-105页 |
| ·总结 | 第102-103页 |
| ·课题展望 | 第103-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-116页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第116-118页 |
| 附录2 攻读学位期间申请专利 | 第118-119页 |
| 附录3 攻读学位期间获奖目录 | 第119页 |