等离子体制备PEO-like/Ag功能性薄膜
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| ·研究背景 | 第8-13页 |
| ·抗菌薄膜的制备方法 | 第13-17页 |
| ·本课题提出的意义和研究内容 | 第17-19页 |
| 参考文献 | 第19-23页 |
| 第二章 实验设备及工艺 | 第23-34页 |
| ·磁控溅射的基本原理 | 第23-27页 |
| ·反应磁控溅射的原理 | 第27-31页 |
| ·反应溅射 | 第27-29页 |
| ·反应溅射特点 | 第29页 |
| ·反应溅射存在的问题 | 第29-30页 |
| ·反应溅射的电源 | 第30页 |
| ·反应溅射的单体 | 第30页 |
| ·反应溅射靶中毒 | 第30-31页 |
| ·反应磁控溅射装置 | 第31页 |
| ·工艺参数的选择 | 第31-32页 |
| ·工艺流程 | 第32-33页 |
| 参考文献 | 第33-34页 |
| 第三章 薄膜的性能检测和表征方法 | 第34-42页 |
| ·表面状态分析 | 第34页 |
| ·表面结构分析 | 第34-38页 |
| ·表面形貌分析 | 第38-40页 |
| 参考文献 | 第40-42页 |
| 第四章 实验结果及分析 | 第42-69页 |
| ·功能薄膜的合成 | 第42-53页 |
| ·类 PEO/Ag 合成 | 第53-63页 |
| ·PEO/Ag 薄膜的性能分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 第五章 总结 | 第69-72页 |
| ·本文主要研究成果与结论 | 第69-71页 |
| ·进一步工作的展望 | 第71页 |
| ·本文的创新之处 | 第71-72页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
