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硅基聚合物阵列波导光栅器件波谱响应平坦化研究

提要第1-11页
第一章 绪论第11-39页
   ·波分复用技术第11-15页
     ·波分复用技术的发展第11-12页
     ·波分复用技术的基本原理第12页
     ·密集波分复用技术的特点第12-13页
     ·波分复用/解复用器的种类第13-15页
   ·阵列波导光栅(AWG)波分复用器件第15-22页
     ·AWG 波分复用器的发展第15-16页
     ·AWG 波分复用器的基本结构第16-17页
     ·AWG 波分复用器的研究现状第17页
     ·AWG 的性能及改进方法第17-22页
   ·无机 AWG 波分复用/解复用器第22-24页
     ·无机 AWG 的发展第22-23页
     ·Si 基 SiO_2 AWG第23页
     ·SOI AWG第23-24页
     ·InP 基 AWG第24页
   ·聚合物 AWG 波分复用/解复用器第24-29页
     ·聚合物 AWG 的发展第24-25页
     ·聚合物氟代、氘代聚甲基丙烯酸酯 AWG第25-26页
     ·聚合物氟代聚酰亚胺 AWG第26-27页
     ·聚合物可交联含氟聚芳醚和聚芳硫醚 AWG第27-28页
     ·聚合物氘代、氟代聚硅氧烷 AWG第28-29页
   ·AWG 复用/解复用器的应用第29-33页
     ·复用/解复用器第29页
     ·波长路由器第29-30页
     ·光分插复用器第30-31页
     ·多波长光源第31页
     ·波长选择器第31-32页
     ·多波长接收器第32页
     ·多信道均衡器第32-33页
     ·可重构光分插复用器第33页
   ·波谱响应平坦化 AWG第33-37页
     ·AWG 波谱响应平坦化研究现状第33-34页
     ·多模干涉(MMI)输入第34-35页
     ·多罗兰圆设计第35-36页
     ·Kamalakis-Sphicopoulos 方法第36页
     ·AWG 波分复用器波谱响应平坦化新方法第36-37页
   ·本论文的主要工作及创新点第37-39页
     ·本论文的主要工作第37-38页
     ·主要创新点第38-39页
第二章 阵列波导光栅(AWG)的基本理论第39-57页
   ·光在对称三层平板波导中的传输第39-43页
     ·对称三层平板波导的结构模型第39-40页
     ·TE 导模的场分布函数、特征方程和传输功率第40-42页
     ·TM 导模的场分布函数、特征方程和传输功率第42-43页
   ·光在矩形波导中的传输第43-47页
     ·对称三层平板波导的结构模型第44-45页
     ·矩形波导的 E~y_(mn) 导模第45-46页
     ·矩形波导的 E~x_(mn) 导模第46-47页
   ·AWG 的基本原理第47-51页
     ·罗兰圆工作原理第47-48页
     ·AWG 工作原理第48-49页
     ·光栅方程第49-50页
     ·角色散方程第50页
     ·自由光谱区(FSR)第50-51页
     ·波长分配原理第51页
   ·AWG 的光传输特性第51-53页
     ·输入平板波导中的衍射远场和功率分布第51-52页
     ·输入平板波导的衍射效率第52页
     ·输出平板波导中的衍射远场和功率分布第52-53页
     ·输出平板波导的衍射效率第53页
     ·传输光谱第53页
   ·AWG 的损耗特性和串扰特性第53-57页
     ·输入平板的衍射损耗第53-54页
     ·输出平板的衍射损耗第54页
     ·波导弯曲损耗第54-55页
     ·串扰特性第55-56页
     ·偏振相关性第56页
     ·3-dB 带宽第56-57页
第三章 波谱响应平坦化 AWG 的参数优化和版图设计第57-90页
   ·常规型AWG 的参数优化第57-63页
     ·常规型AWG 的基本结构第57-58页
     ·信道波导及阵列波导的尺寸第58-59页
     ·相邻波导的间距第59-60页
     ·相邻阵列波导长度差、平板波导焦距和 FSR第60-61页
     ·信道波导数和阵列波导数第61-62页
     ·常规型AWG 参数优化结果第62-63页
   ·常规型AWG 传输性能分析第63-73页
     ·输入平板波导中的衍射远场和功率分布第63-64页
     ·输出平板波导中的衍射远场和功率分布第64-66页
     ·传输光谱和自由光谱区第66-68页
     ·2M+1 和d 对输出平板波导的衍射效率的影响第68-69页
     ·m、d 和a 对串扰的影响第69-71页
     ·偏振相关性分析第71-73页
     ·3dB 带宽第73页
   ·利用阵列波导宽度差方法改进 AWG 的波谱响应第73-78页
     ·形成箱型波谱响应的阵列波导宽度差方法第73页
     ·改进的阵列波导光栅的衍射远场第73-74页
     ·宽度差的增量Δa 对自由光谱区的影响第74-75页
     ·宽度差的增量Δa 对波谱响应的影响第75-76页
     ·宽度差的增量Δa 对串扰性能的影响第76页
     ·改进的AWG 的箱型波谱响应第76-77页
     ·箱型波谱响应AWG 的参数优化第77-78页
   ·利用阵列波导长度方法改进 AWG 的波谱响应第78-83页
     ·形成箱型波谱响应的阵列波导长度差方法第78页
     ·改进的阵列波导光栅的衍射远场第78页
     ·长度差的增量δ(ΔL ) 对自由光谱区的影响第78-80页
     ·长度差的增量δ(ΔL ) 对波谱响应的影响第80-81页
     ·长度差的增量δ(ΔL ) 对串扰性能的影响第81页
     ·改进的AWG 的箱型波谱响应第81-82页
     ·箱型波谱响应AWG 的参数优化第82-83页
   ·箱型波谱响应AWG 的版图设计第83-90页
     ·阵列波导的几何参量第83-86页
     ·信道波导的几何参量第86-88页
     ·版图中波导曲线的坐标第88页
     ·箱型波谱响应 AWG 的版图第88-90页
第四章 波导弯曲和工艺误差对 AWG 传输特性的影响第90-103页
   ·波导弯曲对 AWG 器件传输性能的影响第90-94页
     ·弯曲对有效折射率的影响第90-91页
     ·弯曲引起的相移第91-92页
     ·弯曲引起的光谱漂移第92-93页
     ·弯曲引起的串扰变化第93-94页
   ·制作工艺误差对 AWG 器件传输性能的影响第94-98页
     ·制作工艺误差引起的中心波长移动第94-95页
     ·制作工艺误差对传输性能的影响第95-97页
     ·制作工艺误差对串扰的影响第97-98页
   ·制作工艺误差的累积和补偿第98-103页
     ·工艺误差对波谱响应的累积效应第98-99页
     ·工艺误差对串扰的累积效应第99-100页
     ·工艺误差对波谱响应的补偿效应第100-101页
     ·工艺误差对串扰的补偿效应第101-103页
第五章 17 信道聚合物箱型波谱响应AWG 的实验制备第103-130页
   ·氟化聚芳醚(FPE)聚合物特性第103-110页
     ·氟化聚芳醚(FPE)材料的主要性能参数第103-104页
     ·折射率特性第104-106页
     ·传输损耗特性第106-107页
     ·成膜性第107-109页
     ·薄膜稳定性第109-110页
   ·氟化聚芳醚聚合物 AWG 制备工艺第110-121页
     ·聚合物 AWG 制作的技术第110-112页
     ·制备聚合物波导薄膜的工艺要求第112-114页
     ·反应离子刻蚀(RIE)技术的工艺流程第114页
     ·聚合物 AWG 的制备过程第114-117页
     ·聚合物 AWG 的端面抛光第117-120页
     ·聚合物 AWG 器件的封装第120-121页
   ·17 信道箱型波谱响 AWG 的性能测试第121-126页
     ·聚合物AWG 器件的测试系统的搭建第121-122页
     ·聚合物波导的传输损耗测试第122-124页
     ·聚合物AWG 器件的近场模式光斑测试第124页
     ·聚合物AWG 器件的光谱测试第124-126页
   ·17 信道箱型波谱响 AWG 的特性分析第126-130页
     ·聚合物AWG 器件的插入损耗分析第126-128页
     ·聚合物AWG 器件的串扰分析第128-130页
结论第130-132页
参考文献第132-144页
致谢第144-145页
攻读博士学位期间发表的论文及科研成果第145-148页
摘要第148-150页
ABSTRACT第150-151页

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