| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·等离子体鞘层的研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·电负性等离子体鞘层和尘埃充电的研究意义及现状 | 第11-13页 |
| ·等离子体鞘层时空演化的研究背景及意义 | 第13-15页 |
| ·尘埃等离子体物理的研究意义 | 第15-16页 |
| ·尘埃等离子体物理的发展与现状 | 第16-18页 |
| ·本文主要研究内容及编排 | 第18-20页 |
| 2 电负性等离子体鞘层结构及尘埃充电的研究 | 第20-37页 |
| ·强电负性等离子体中的鞘层结构 | 第20-29页 |
| ·鞘层模型和玻姆判据 | 第21-23页 |
| ·数值结果及讨论 | 第23-27页 |
| ·电负性鞘层小结 | 第27-29页 |
| ·电负性硅烷(SiH_4)等离子体中尘埃充电行为的研究 | 第29-37页 |
| ·尘埃充电模型 | 第29-31页 |
| ·数值结果及讨论 | 第31-36页 |
| ·尘埃充电特性小结 | 第36-37页 |
| 3 等离子体鞘层中尘埃粒子的分布特性 | 第37-61页 |
| ·等离子体鞘层特性 | 第37-44页 |
| ·二维鞘层模型 | 第38-41页 |
| ·数值结果及讨论 | 第41-44页 |
| ·二维鞘层小结 | 第44页 |
| ·二维鞘层中尘埃粒子的分布特性 | 第44-61页 |
| ·基本物理模型 | 第46-48页 |
| ·数值结果及讨论 | 第48-59页 |
| ·鞘层中尘埃粒子分布特性小结 | 第59-61页 |
| 4 单尘埃粒子在等离子体鞘层中的运动特性 | 第61-73页 |
| ·理论模型 | 第61-66页 |
| ·数值结果及讨论 | 第66-72页 |
| ·不同大小尘埃粒子在鞘层中的平衡位置 | 第66-68页 |
| ·不同初始速度、初始位置尘埃粒子的运动轨迹 | 第68-70页 |
| ·磁场对尘埃粒子运动轨迹的影响 | 第70-72页 |
| ·单粒子尘埃运动特性小结 | 第72-73页 |
| 5 等离子体源离子注入鞘层的时空演化特性 | 第73-88页 |
| ·基本物理模型 | 第74-78页 |
| ·基本方程和边界条件 | 第74-76页 |
| ·数值方法 | 第76-77页 |
| ·模拟过程 | 第77-78页 |
| ·数值结果及讨论 | 第78-87页 |
| ·柱形靶和球形靶无碰撞鞘层随时间演化特性 | 第78-80页 |
| ·平面靶、柱形靶和球形靶碰撞鞘层随时间演化特性 | 第80-84页 |
| ·碰撞鞘层离子注入电流密度和平均动能随时间演化特性 | 第84-87页 |
| ·鞘层时空演化特性小结 | 第87-88页 |
| 结论 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-100页 |
| 创新点摘要 | 第100-101页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第101-102页 |
| 致谢 | 第102-103页 |