| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·论文的选题背景及实际意义 | 第7-8页 |
| ·课题研究现状 | 第8-9页 |
| ·课题研究目的和方法 | 第9-11页 |
| ·研究目的 | 第9-10页 |
| ·研究内容和方法 | 第10-11页 |
| ·论文结构安排 | 第11-13页 |
| 第二章 课题背景介绍 | 第13-21页 |
| ·半导体芯片产业介绍 | 第13-15页 |
| ·半导体芯片产业背景 | 第13-14页 |
| ·半导体芯片产业链 | 第14-15页 |
| ·半导体芯片生产制造流程 | 第15-18页 |
| ·半导体芯片生产供应链 | 第18-20页 |
| ·本章小节 | 第20-21页 |
| 第三章 离散事件系统的仿真方法 | 第21-29页 |
| ·仿真基本原理 | 第21-25页 |
| ·系统和生产系统 | 第21-22页 |
| ·模型和建模 | 第22-23页 |
| ·仿真 | 第23-24页 |
| ·仿真步骤 | 第24-25页 |
| ·离散事件系统仿真 | 第25-28页 |
| ·离散事件系统仿真介绍 | 第26-27页 |
| ·生产系统仿真 | 第27-28页 |
| ·本章小节 | 第28-29页 |
| 第四章 半导体生产系统仿真输入数据分析 | 第29-39页 |
| ·仿真输入数据的收集 | 第29-30页 |
| ·仿真输入数据的分析 | 第30-38页 |
| ·运用 StatFit 的仿真输入数据分析方法 | 第30-33页 |
| ·概率分布的仿真实现 | 第33-34页 |
| ·半导体生产系统输入数据分析 | 第34-38页 |
| ·本章小节 | 第38-39页 |
| 第五章 基于 ProModel 的半导体生产系统建模仿真 | 第39-56页 |
| ·ProModel 仿真 | 第39-43页 |
| ·ProModel 功能介绍 | 第39-41页 |
| ·ProModel 基本原理 | 第41-43页 |
| ·基于 ProModel 的半导体生产系统建模仿真 | 第43-53页 |
| ·问题描述 | 第44-46页 |
| ·仿真求解目标 | 第46页 |
| ·研究限制和系统假设 | 第46-48页 |
| ·构建半导体生产系统仿真模型 | 第48-53页 |
| ·实体 | 第48页 |
| ·行程位置 | 第48-49页 |
| ·实体到达 | 第49-50页 |
| ·流程定义 | 第50-52页 |
| ·定义系统变量 | 第52-53页 |
| ·模型确认和验证 | 第53-55页 |
| ·仿真模型确认 | 第54页 |
| ·仿真模型验证 | 第54-55页 |
| ·本章小节 | 第55-56页 |
| 第六章 仿真实验和仿真输出分析 | 第56-64页 |
| ·仿真案例 | 第57页 |
| ·仿真实验 | 第57-62页 |
| ·仿真实验一 | 第57-58页 |
| ·仿真实验二 | 第58-60页 |
| ·仿真实验三 | 第60-62页 |
| ·本章小节 | 第62-64页 |
| 第七章 总结和展望 | 第64-66页 |
| ·本文的主要工作 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 主要参考文献 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第69页 |