CrN硬质膜的制备及性能的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-10页 |
| 1. 绪论 | 第10-31页 |
| ·课题背景 | 第10页 |
| ·表面工程技术工艺技术的近代发展 | 第10-12页 |
| ·薄膜技术 | 第12-20页 |
| ·离子镀设备及应用 | 第20-28页 |
| ·CrN薄膜的研究进展 | 第28-29页 |
| ·本研究的内容、意义及技术路线 | 第29-31页 |
| 2. 实验设备及方法 | 第31-40页 |
| ·热阴极离子镀设备 | 第31-33页 |
| ·实验材料 | 第33页 |
| ·实验前基体试样的预处理 | 第33-34页 |
| ·实验流程 | 第34页 |
| ·结合力的测定 | 第34-35页 |
| ·显微硬度的检测 | 第35-36页 |
| ·表面形貌、断口分析及物相分析 | 第36页 |
| ·沉积速率的测定 | 第36-37页 |
| ·CrN_x薄膜的正交实验设计 | 第37-40页 |
| 3. CrN_x薄膜的制备与结构、成分分析 | 第40-58页 |
| ·CrN_x薄膜的制备工艺 | 第40页 |
| ·CrN_x薄膜的XRD图谱分析 | 第40-51页 |
| ·薄膜的断口分析 | 第51-54页 |
| ·薄膜的表面形貌 | 第54-55页 |
| ·薄膜的能谱分析 | 第55-58页 |
| 4. CrN_x薄膜的主要性能及其结果分析 | 第58-68页 |
| ·薄膜与基体的结合力 | 第58-62页 |
| ·实验数据及正交分析 | 第62-68页 |
| 5. 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
