| 1 绪论 | 第1-24页 |
| 1．1 研究背景与论文结构 | 第11-14页 |
| 1．2 干涉测量原理及干涉测量的条件~[1][8] | 第14-20页 |
| 1．2．1 麦克尔逊(Machelson)干涉仪及测长原理 | 第14-15页 |
| 1．2．2 实现干涉测长的条件 | 第15-16页 |
| 1．2．3 实用激光干涉仪 | 第16页 |
| 1．2．4 外差式双频激光干涉仪 | 第16-19页 |
| 1．2．5 双频激光干涉仪的外部结构和使用方式 | 第19-20页 |
| 1．3 激光跟踪方式干涉测距 | 第20-24页 |
| 1．3．1 跟踪测量的基本出发点和可能实现跟踪的方法 | 第20-21页 |
| 1．3．2 激光束跟踪与高精度定位测量 | 第21-22页 |
| 1．3．3 外置式激光束跟踪测量系统 | 第22-23页 |
| 1．3．4 靶镜跟踪与虚拟高精度导轨 | 第23-24页 |
| 2 激光跟踪测量 | 第24-39页 |
| 2．1 激光跟踪方式干涉定位测距的理论依据 | 第24-30页 |
| 2．1．1 高斯光束的特点 | 第24-27页 |
| 2．1．2 等相位同心球面的形成 | 第27页 |
| 2．1．3 激光跟踪测量的理论依据 | 第27-30页 |
| 2．1．4 结论:定位测量的可实现性 | 第30页 |
| 2．2 跟踪方式激光干涉测距的实验验证 | 第30-33页 |
| 2．2．1 激光跟踪测量实验系统的结构和原理 | 第30页 |
| 2．2．2 激光跟踪测量试验 | 第30-32页 |
| 2．2．3 跟踪定位测量实验结论 | 第32-33页 |
| 2．3 自动跟踪激光干涉测距系统的研究 | 第33-37页 |
| 2．3．1 系统结构 | 第33页 |
| 2．3．2 激光束跟踪原理 | 第33-34页 |
| 2．3．3 靶镜偏离直线位置检测 | 第34-36页 |
| 2．3．4 控制方式 | 第36页 |
| 2．3．5 跟踪结果 | 第36-37页 |
| 2．4 外置式激光跟踪测量系统方案的提出 | 第37-38页 |
| 2．4．1 一体化激光跟踪测量系统的结构的特点和优点 | 第37页 |
| 2．4．2 一体化激光跟踪测量系统的局限性 | 第37-38页 |
| 2．4．3 外置式激光跟踪测量系统方案的提出 | 第38页 |
| 2．5 本章小结 | 第38-39页 |
| 3 外置式激光跟踪测距系统 | 第39-76页 |
| 3．1 外置式激光跟踪测距系统的原理(基本构成) | 第39-44页 |
| 3．1．1 外置式激光跟踪测距方法的基本出发点 | 第39页 |
| 3．1．2 平面反射镜对光束方位的调整作用 | 第39-43页 |
| 3．1．3 外置式激光跟踪测距系统结构方案 | 第43-44页 |
| 3．2 跟踪伺服系统的主要机械部件和参数 | 第44-48页 |
| 3．2．1 球形跟踪伺服装置 | 第44-45页 |
| 3．2．2 球形跟踪伺服装置跟踪范围角的确定 | 第45-46页 |
| 3．2．3 球形跟踪伺服装置轴间祸合情况 | 第46-48页 |
| 3．3 外置式跟踪系统的光束位置影响 | 第48-52页 |
| 3．3．1 跟踪平面镜的入射点对测量精度的影响 | 第48-49页 |
| 3．3．2 跟踪平面镜的镜面倾斜对测量精度的影响 | 第49-50页 |
| 3．3．3 球心径向偏移对测量精度的影响 | 第50-52页 |
| 3．4 测量与控制 | 第52-69页 |
| 3．4．1 测控系统结构 | 第52-53页 |
| 3．4．2 偏差信号的拾取 | 第53-56页 |
| 3．4．3 跟踪控制器 | 第56-65页 |
| 3．4．4 外置式跟踪测控系统的仿真 | 第65-69页 |
| 3．5 实验数据及结论 | 第69-75页 |
| 3．5．1 跟踪测量实验的实验方法 | 第70-72页 |
| 3．5．2 参考点重复性跟踪测量实验 | 第72-73页 |
| 3．5．3 二维动态跟踪测量实验 | 第73-75页 |
| 3．5．4 结论 | 第75页 |
| 3．6 本章小结 | 第75-76页 |
| 4 双丝导航、靶镜跟踪的大长度测量 | 第76-94页 |
| 4．1 长距离连续测距的要求及实例 | 第76-77页 |
| 4．1．1 问题的提出 | 第76页 |
| 4．1．2 红外测距仪检定系统 | 第76-77页 |
| 4．1．3 靶镜跟踪虚拟高精度导轨的设想 | 第77页 |
| 4．2 双悬丝基准虚拟高精度导轨方法的提出 | 第77-85页 |
| 4．2．1 悬丝基准 | 第77-78页 |
| 4．2．2 单悬丝曲线方程 | 第78-81页 |
| 4．2．3 悬丝导航的基本方案 | 第81-82页 |
| 4．2．4 双悬丝基准的提出 | 第82-85页 |
| 4．3 测量系统的实验研究 | 第85-93页 |
| 4．3．1 系统组成 | 第85-86页 |
| 4．3．2 测量系统基本参数配置 | 第86页 |
| 4．3．3 CCD测量系统的测量重复性测试 | 第86-87页 |
| 4．3．4 悬链线方程和测量系统的实验验证 | 第87-89页 |
| 4．3．5 模拟粗糙导轨工作台运动中的导向修正 | 第89-90页 |
| 4．3．6 实验控制系统和基本控制算法 | 第90-92页 |
| 4．3．7 结论 | 第92-93页 |
| 4．4 本章小结 | 第93-94页 |
| 5 结论 | 第94-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-106页 |
| 发表论文和成果 | 第106-108页 |
| 附录关于激光多波长无导轨测量 | 第108-119页 |
| E．1 本部分绪论 | 第108-110页 |
| E．2 测量原理 | 第110-118页 |
| E．3 激光多波长无导轨测长精度 | 第118-119页 |
