| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1．1 引言 | 第11页 |
| 1．2 微磁器件—薄膜电感研究现状 | 第11-13页 |
| 1．3 薄膜芯材的损耗及应具备的条件 | 第13-16页 |
| 1．4 薄膜芯材研究动态 | 第16-21页 |
| 1．5 本论文主要研究内容与安排 | 第21-23页 |
| 第二章 软磁薄膜的晶化与快速循环纳米晶化模型 | 第23-47页 |
| 2．1 非晶软磁薄膜材料的特点 | 第23-24页 |
| 2．2 晶化过程与动力学模型 | 第24-29页 |
| 2．3 快速循环纳米晶化方法 | 第29-31页 |
| 2．4 快速循环纳米晶化量子动力学模型 | 第31-36页 |
| 2．5 纳米晶粒与软磁性能尺度效应关系 | 第36-41页 |
| 2．6 纳米晶软磁薄膜高频阻抗临界效应 | 第41-45页 |
| 2．7 小结 | 第45-47页 |
| 第三章 低频段用薄膜电感器用CoNbZr纳米晶软磁芯材研究 | 第47-79页 |
| 3．1 引言 | 第47-48页 |
| 3．2 CoNbZr软磁薄膜晶粒的形成研究 | 第48-57页 |
| 3．3 等温晶化晶粒生长的计算机模拟 | 第57-60页 |
| 3．4 CoNbZr薄膜的纳米尺度效应研究 | 第60-65页 |
| 3．5 纳米晶CoNbZr薄膜结构与性能特征 | 第65-70页 |
| 3．6 纳米晶CoNbZr薄膜磁畴结构研究 | 第70-74页 |
| 3．7 CoNbZr薄膜阻抗的临界纳米尺度效应 | 第74-77页 |
| 3．8 小结 | 第77-79页 |
| 第四章 中频段集成薄膜电感用芯材纳米晶(CoNbZr)_(1-x)Dy-x薄膜芯材研究 | 第79-101页 |
| 4．1 引言 | 第79-80页 |
| 4．2 (coNbZr)_(1-x)Dy_x单轴各向异性及磁性的理论模型 | 第80-87页 |
| 4．3 纳米晶化对(CoNbZr)_(1-x)Dy_x薄膜各向异性和磁性的影响 | 第87-88页 |
| 4．4 软磁薄膜的高频动力学磁导率理论 | 第88-90页 |
| 4．5 纳米晶(CoNbZr)_(1-x)Dy_x薄膜磁性的实验研究 | 第90-100页 |
| 4．6 小结 | 第100-101页 |
| 第五章 高频段集成薄膜电感用FeCo-Al-N纳米颗粒薄膜芯材研究 | 第101-125页 |
| 5．1 引言 | 第101-102页 |
| 5．2 FeCo-Al-N纳米颗粒膜磁电性能的理论分析 | 第102-110页 |
| 5．3 FeCo-Al-N纳米颗粒膜结构及性能实验研究 | 第110-120页 |
| 5．4 (FeCo-Al-N／CoNbZr)_n复合多层膜的研究 | 第120-124页 |
| 5．5 小结 | 第124-125页 |
| 第六章 薄膜电感的设计与低、中、高频纳米晶薄膜芯材的应用 | 第125-141页 |
| 6．1 薄膜电感绕线形式的设计 | 第125-127页 |
| 6．2 薄膜电感表面磁场分布的传输线模型 | 第127-129页 |
| 6．3 薄膜电感的理论模型 | 第129-134页 |
| 6．4 薄膜电感的制作及纳米晶薄膜磁芯的应用 | 第134-140页 |
| 6．5 小结 | 第140-141页 |
| 第七章 总结和展望 | 第141-144页 |
| 7．1 本论文主要工作总结 | 第141-143页 |
| 7．2 展望 | 第143-144页 |
| 参考文献 | 第144-152页 |
| 致谢 | 第152-153页 |
| 读博期间发表的论文目录 | 第153-154页 |
