| 摘 要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪 言 | 第8-20页 |
| ·高功率CO2激光薄膜的研究现状 | 第8-11页 |
| ·离子辅助镀膜工艺的发展及研究现状 | 第11-18页 |
| ·本论文的研究内容 | 第18-20页 |
| 2 高功率CO2激光薄膜的设计 | 第20-43页 |
| ·反射镜和窗口基底及薄膜材料的选择 | 第20-25页 |
| ·优化方法及评价函数的构造及改进 | 第25-30页 |
| ·几种膜系设计及分析 | 第30-42页 |
| ·小 结 | 第42-43页 |
| 3 激光薄膜材料镀制工艺及膜厚监控工艺研究 | 第43-62页 |
| ·离子辅助镀工艺研究 | 第43-48页 |
| ·膜料折射率的测量 | 第48-55页 |
| ·膜厚监控方法的研究 | 第55-60页 |
| ·小 结 | 第60-62页 |
| 4 高功率CO2激光薄膜器件的制备 | 第62-69页 |
| ·镀膜设备简介 | 第62-64页 |
| ·薄膜的镀制 | 第64-68页 |
| ·小 结 | 第68-69页 |
| 5 总 结 | 第69-71页 |
| 致 谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 附录I 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第77-78页 |
| 附录II 光学薄膜的基本理论知识及部分激光器件样品图 | 第78-80页 |