| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 1 绪论 | 第11-20页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·微表面三维形貌测量 | 第12-17页 |
| ·微表面三维形貌的测量方法 | 第12-14页 |
| ·干涉显微测量 | 第14-17页 |
| ·国内外主要产品 | 第17页 |
| ·本论文研究的内容及意义 | 第17-20页 |
| 2 光纤连接器干涉仪的理论基础 | 第20-36页 |
| ·光纤连接器描述 | 第20-26页 |
| ·光纤连接器几何参数定义 | 第20-21页 |
| ·测试区域描述 | 第21-23页 |
| ·三维重建 | 第23-24页 |
| ·几何参数计算 | 第24-26页 |
| ·移相干涉测量技术(Phase-shifting Interferometry) | 第26-31页 |
| ·相位测量法 | 第26-27页 |
| ·移相实现模式 | 第27-28页 |
| ·步进式移相法 | 第28-31页 |
| ·相位解包裹技术 | 第31-36页 |
| ·相位解包裹原理 | 第31-32页 |
| ·相位解包裹算法分类 | 第32-36页 |
| 3 Michelson干涉系统的设计 | 第36-44页 |
| ·干涉成像系统设计 | 第36-41页 |
| ·光源的选择 | 第37-39页 |
| ·放大倍率 | 第39-41页 |
| ·数值孔径 | 第41页 |
| ·干涉光路的平衡 | 第41页 |
| ·扫描系统 | 第41-43页 |
| ·压电微位移控制技术 | 第41-42页 |
| ·压电陶瓷原理 | 第42页 |
| ·压电陶瓷特性曲线 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 4 系统软硬件设计 | 第44-55页 |
| ·硬件组成 | 第44-48页 |
| ·电路控制原理 | 第44页 |
| ·数字采集卡 | 第44-47页 |
| ·D/A缓冲接口板 | 第47-48页 |
| ·软件设计 | 第48-53页 |
| ·软件功能框图 | 第48-49页 |
| ·图像采集模块 | 第49-50页 |
| ·PZT驱动模块 | 第50-51页 |
| ·数据处理子程序 | 第51-52页 |
| ·显示子程序 | 第52页 |
| ·文档管理子程序 | 第52-53页 |
| ·机械设计 | 第53-55页 |
| 5 实验结果分析 | 第55-63页 |
| ·实验采集数据 | 第55-57页 |
| ·光纤高度 | 第57-59页 |
| ·偏心计算 | 第59页 |
| ·半径计算 | 第59-60页 |
| ·重复性测试 | 第60-63页 |
| 6 总结与展望 | 第63-64页 |
| ·本文完成的工作 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 | 第68页 |