| 第一章 绪论 | 第1-11页 |
| §1．1 纳米技术 | 第7-8页 |
| §1．2 扫描探针显微镜 | 第8页 |
| §1．3 SPM技术的国内外发展情况 | 第8-9页 |
| §1．4 DSP-SPM系统 | 第9页 |
| §1．5 本科题的主要研究内容 | 第9-11页 |
| 第二章 扫描探针显微镜简介 | 第11-17页 |
| §2．1 SPM的发展 | 第11-12页 |
| 2．1．1 扫描隧道显微镜STM的诞生 | 第11页 |
| 2．1．2 SPM家族 | 第11页 |
| 2．1．3 SPM的结构与分类 | 第11-12页 |
| §2．2 压电陶瓷管 | 第12-13页 |
| §2．3 SPM的工作原理 | 第13-15页 |
| 2．3．1 扫描隧道显微镜（STM） | 第13-14页 |
| 2．3．2 接触式原子力显微镜（Contact Mode AFM） | 第14-15页 |
| 2．3．3 轻敲式原子力显微镜（TappingMode AFM） | 第15页 |
| §2．4 SPM的应用 | 第15-17页 |
| 第三章 数字信号处理器DSP | 第17-24页 |
| §3．1 DSP的发展 | 第17页 |
| §3．2 TMS320VC5402 | 第17-20页 |
| 3．2．1 DSP芯片的选型 | 第17-18页 |
| 3．2．2 TMS320VC5402的特点 | 第18页 |
| 3．2．3 TMS320VC5402的开发工具 | 第18-20页 |
| §3．3 DSP常用外围芯片 | 第20-24页 |
| 3．3．1 双电源输出（3．3V、1．8V）稳压电源 | 第20页 |
| 3．3．2 电子转换／驱动芯片 | 第20页 |
| 3．3．3 数据锁存与三态缓冲 | 第20-21页 |
| 3．3．4 快擦写存储器Flash Memory | 第21-24页 |
| 第四章 光栅扫描控制 | 第24-29页 |
| §4．1 光栅扫描控制的基本原理 | 第24页 |
| §4．2 关键器件的选择 | 第24-26页 |
| §4．3 光栅扫描控制的实现 | 第26页 |
| 4．3．1 原理图 | 第26页 |
| 4．3．2 软件部分 | 第26页 |
| §4．4 扫描角度的偏转与扫描中心的偏移 | 第26-29页 |
| 第五章 “轻敲”的实现 | 第29-33页 |
| §5．1 TappingMode AFM | 第29页 |
| §5．2 振荡频率的控制 | 第29-31页 |
| 5．2．1 芯片的选择 | 第29-30页 |
| 5．2．2 “扫频” | 第30-31页 |
| §5．3 幅值的调节 | 第31-33页 |
| 第六章 HPI与PC机的并口通信 | 第33-39页 |
| §6．1 VC5402的主机接口HPI | 第33-35页 |
| §6．2 EPP（Enhanced Parallel Port）增强并行口模式 | 第35-36页 |
| 6．2．1 EPP协议 | 第35-36页 |
| 6．2．2 EPP寄存器 | 第36页 |
| §6．3 HPI与PC机并口通信的实现 | 第36-39页 |
| 6．3．1 可编程并行接口8255A | 第36页 |
| 6．3．2 增强型HPI-8与主机EPP的连接 | 第36-38页 |
| 6．3．3 通信程序流程 | 第38-39页 |
| 第七章 扫描管纵向闭环控制 | 第39-53页 |
| §7．1 STM的闭环控制 | 第39-43页 |
| 7．1．1 基本原理 | 第39页 |
| 7．1．2 稳态响应 | 第39-40页 |
| 7．1．3 瞬态响应 | 第40-43页 |
| §7．2 PID算法 | 第43-45页 |
| 7．2．1 PID基本原理 | 第43-44页 |
| 7．2．2 控制算法 | 第44-45页 |
| §7．3 接口电路 | 第45-49页 |
| §7．4 自动进针 | 第49-50页 |
| §7．5 系统噪声干扰分析 | 第50-53页 |
| 7．5．1 噪声干扰来源种类 | 第51页 |
| 7．5．2 降低噪声干扰的措施 | 第51-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 附录 | 第56-60页 |
| 附录A SPM纪事 | 第56-57页 |
| 附录B 轻敲模式SPM的技术、质量指标 | 第57-58页 |
| 附录C DSP试验板地址分配表 | 第58-59页 |
| 附录D DSP-SPM系统原理图 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读学位期间所取得的科研成果 | 第61页 |
