| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·低介电常数材料综述 | 第9-17页 |
| ·本文的工作 | 第17-19页 |
| 2 热导率和低介电常数材料 | 第19-30页 |
| ·热传导理论 | 第19-21页 |
| ·热传导方程 | 第21-22页 |
| ·测量材料热导率的方法 | 第22-25页 |
| ·多孔材料的热导率 | 第25-30页 |
| 3 3ω法测量薄膜热导率 | 第30-43页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·测量原理 | 第30-35页 |
| ·实验装置电路的设计 | 第35-40页 |
| ·样品制备 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 低介电BN/SiCO 材料的热分析 | 第43-62页 |
| ·低介电多孔BN/SiCO 材料 | 第43页 |
| ·BN/SiCO 热重分析（TGA） | 第43-46页 |
| ·热线法测量热导率 | 第46-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 5 结论 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录1 提取调节模块 | 第68-69页 |
| 附录2 单片机程序 | 第69-72页 |
| 附录3 倍频模块 | 第72页 |