| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题研究的背景 | 第10-11页 |
| ·声光可调谐滤波器的发展历程与研究现状 | 第11-16页 |
| ·依赖于偏振的单级声光可调谐滤波器 | 第13-14页 |
| ·不依赖于偏振的单级声光可调谐滤波器 | 第14-15页 |
| ·多级声光可调谐滤波器的实现及其意义 | 第15-16页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 基于LiNbO_3的声光可调谐滤波器理论基础 | 第17-26页 |
| ·AOTF中声光作用的原理 | 第17-20页 |
| ·正常布拉格衍射 | 第17-19页 |
| ·反常布拉格衍射 | 第19-20页 |
| ·AOTF中光信号的偏振态 | 第20-21页 |
| ·声表面波 | 第21-22页 |
| ·耦合模理论 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 基于LiNbO_3的声光可调谐滤波器的设计 | 第26-50页 |
| ·光波导的理论分析和设计 | 第26-32页 |
| ·LiNbO_3光波导的折射率分布及模场分布 | 第26-29页 |
| ·光波导的参数选择 | 第29-32页 |
| ·模分离器的原理和设计 | 第32-39页 |
| ·模分离器的结构与原理 | 第32-34页 |
| ·模分离器的参数确定 | 第34-36页 |
| ·AOTF性能分析 | 第36-39页 |
| ·叉指换能器的原理和设计 | 第39-45页 |
| ·叉指换能器的基本结构及工作原理 | 第39-41页 |
| ·叉指换能器的输出特性及相关参数 | 第41-42页 |
| ·叉指换能器的设计 | 第42-45页 |
| ·钛扩声波导的设计 | 第45-48页 |
| ·钛扩散LiNbO_3 | 第45-46页 |
| ·声波导设计 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 多级声光可调谐滤波器的研究 | 第50-57页 |
| ·直接串联的两级AOTF | 第50-51页 |
| ·利用反射镜的两级AOTF | 第51-55页 |
| ·采用新型SAW结构的两级AOTF | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 基于LiNbO_3的声光可调谐滤波器的制作及实验结果 | 第57-71页 |
| ·AOTF制作的工艺流程 | 第58-65页 |
| ·掩模版的设计制作 | 第58-59页 |
| ·基片准备 | 第59-60页 |
| ·镀膜 | 第60-61页 |
| ·光刻技术 | 第61-64页 |
| ·腐蚀 | 第64-65页 |
| ·去胶 | 第65页 |
| ·钛扩散 | 第65页 |
| ·AOTF的实验制备 | 第65-70页 |
| ·声波导的工艺制作 | 第65-67页 |
| ·光波导与模分离器的工艺制作 | 第67-68页 |
| ·叉指换能器的工艺制作 | 第68-70页 |
| ·AOTF的制作结果 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 附录1 三层套刻总装图 | 第76-77页 |
| 附录2 声波导掩模版 | 第77-78页 |
| 附录3 叉指换能器掩模版 | 第78-79页 |
| 附录4 光波导和模分离器掩模版 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第81页 |
