磨削蓝宝石基片的软磨料砂轮的研制及性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题的提出 | 第9-11页 |
| ·课题来源 | 第11页 |
| ·单晶蓝宝石晶体的材料特性 | 第11-14页 |
| ·单晶蓝宝石基片国内外加工现状 | 第14-17页 |
| ·单晶蓝宝石基片材料加工技术简介 | 第14-15页 |
| ·蓝宝石国外加工现状 | 第15-16页 |
| ·蓝宝石国内加工现状 | 第16-17页 |
| ·本文的研究意义及主要工作 | 第17-19页 |
| 2 软磨料和蓝宝石粉末反应的模拟验证试验 | 第19-28页 |
| ·软磨料去除蓝宝石的方式 | 第19页 |
| ·粉末模拟试验验证反应可行性 | 第19-26页 |
| ·试验原理 | 第19-20页 |
| ·粉末试验过程 | 第20-23页 |
| ·试验结果分析 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 3 软磨料砂轮的设计与制造 | 第28-45页 |
| ·软磨料砂轮的组织设计 | 第28-34页 |
| ·软磨料砂轮磨具主料的选择 | 第28-29页 |
| ·软磨料砂轮磨具辅料和结合剂的选择 | 第29-31页 |
| ·软磨料磨具配方 | 第31-34页 |
| ·软磨料砂轮基体的设计 | 第34-40页 |
| ·软磨料砂轮结构的设计 | 第34-36页 |
| ·软磨料磨具的制造工艺 | 第36-40页 |
| ·软磨料砂轮的修整 | 第40-44页 |
| ·软磨料砂轮修整方法及修整工具 | 第41-42页 |
| ·软磨料砂轮的修整试验 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 软磨料砂轮磨削单晶蓝宝石试验研究 | 第45-62页 |
| ·试验介绍 | 第45-49页 |
| ·超精密旋转工作台磨削 | 第45-47页 |
| ·旋转磨削原理 | 第47-49页 |
| ·软磨料砂轮磨削试验 | 第49-53页 |
| ·软磨料磨削后的基片清洗 | 第50-53页 |
| ·磨削采用的夹持方式 | 第53页 |
| ·磨削试验结果与讨论 | 第53-58页 |
| ·磨削原理 | 第58-61页 |
| ·软磨料磨具加工材料去除模型 | 第58页 |
| ·单晶蓝宝石固相化学反应原理 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 软磨料砂轮磨削后单晶蓝宝石基片的损伤研究 | 第62-71页 |
| ·角度抛光试验所用的研磨抛光设备 | 第62-63页 |
| ·角度抛光法测损伤原理 | 第63-65页 |
| ·蓝宝石基片角度抛光法试验步骤 | 第65-67页 |
| ·抛光液的选取 | 第65-66页 |
| ·腐蚀液的选取 | 第66-67页 |
| ·角度抛光试验结果 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
