| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 太阳电池的研究背景及意义 | 第13-14页 |
| 1.2 晶硅太阳电池概述 | 第14-18页 |
| 1.2.1 晶硅太阳电池的基本原理 | 第15-16页 |
| 1.2.2 晶硅太阳电池的复合损失 | 第16-18页 |
| 1.3 N型晶体硅太阳电池的简介 | 第18-21页 |
| 1.3.1 N型晶体硅太阳电池的发展史 | 第18-19页 |
| 1.3.2 N型太阳电池正面发射极制备技术 | 第19-21页 |
| 1.4 课题研究内容及目标 | 第21-23页 |
| 1.4.1 课题研究内容 | 第21-22页 |
| 1.4.2 研究目标 | 第22-23页 |
| 第二章 实验设备、材料制备及性能表征技术 | 第23-34页 |
| 2.1 主要实验设备及原料 | 第23-24页 |
| 2.1.1 主要实验设备 | 第23页 |
| 2.1.2 主要实验原料 | 第23-24页 |
| 2.1.3 太阳能电池生产线 | 第24页 |
| 2.2 实验方法 | 第24-27页 |
| 2.2.1 N型硅片衬底的清洗 | 第24页 |
| 2.2.2 液态源BBr_3扩散 | 第24-26页 |
| 2.2.3 纳米球SiO_2辅助旋涂硼源扩散 | 第26-27页 |
| 2.3 性能表征 | 第27-34页 |
| 2.3.1 四探针方阻测试仪 | 第27-29页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第29页 |
| 2.3.3 少数载流子寿命测试仪 | 第29-31页 |
| 2.3.4 量子效率测试仪 | 第31页 |
| 2.3.5 太阳电池性能测试 | 第31-32页 |
| 2.3.6 EL热成像缺陷检测仪 | 第32-33页 |
| 2.3.7 ECV电化学测试 | 第33-34页 |
| 第三章 液态源BBr_3扩散制备正面发射极工艺研究 | 第34-47页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 不同发射极的N型太阳电池性能模拟 | 第34-36页 |
| 3.3 液态源BBr_3的量对扩散性能的影响 | 第36-40页 |
| 3.3.1 液态源BBr_3的气流量与方块电阻的关系 | 第36-37页 |
| 3.3.2 发射极表面浓度及结深随液态源BBr_3的气流量的变化 | 第37-38页 |
| 3.3.3 钝化效果的分析与研究 | 第38-40页 |
| 3.4 不同的推进温度对扩散性能的影响 | 第40-42页 |
| 3.4.1 推进温度与方块电阻的关系 | 第40-41页 |
| 3.4.2 发射极表面浓度及结深随推进温度对的变化 | 第41-42页 |
| 3.4.3 钝化效果的分析与研究 | 第42页 |
| 3.5 不同的推进时间对扩散性能的影响 | 第42-45页 |
| 3.5.1 推进时间与方块电阻的关系 | 第42-43页 |
| 3.5.2 发射极表面浓度及结深推进时间的变化 | 第43-44页 |
| 3.5.3 钝化效果的分析 | 第44-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 硼掺杂剂旋涂扩散制备正面发射极工艺研究 | 第47-62页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 扩散温度对扩散性能的影响 | 第47-49页 |
| 4.2.1 扩散温度与方块电阻的关系 | 第47-48页 |
| 4.2.2 表面浓度和结深随扩散温度的变化 | 第48-49页 |
| 4.3 扩散时间对扩散性能的影响 | 第49-51页 |
| 4.3.1 扩散时间与方块电阻的关系 | 第49-50页 |
| 4.3.2 表面浓度和结深随扩散时间的变化 | 第50-51页 |
| 4.4 原位氧化对扩散性能的影响 | 第51-54页 |
| 4.4.1 原位氧化对表面浓度和结深的影响 | 第52页 |
| 4.4.2 原位氧化对BRL厚度的影响 | 第52-53页 |
| 4.4.3 原位氧化对少子寿命的影响 | 第53-54页 |
| 4.5 SiO_2纳米球辅助硼掺杂剂扩散对扩散层性能的影响 | 第54-57页 |
| 4.5.1 纳米球SiO_2的制备形貌分析 | 第54-55页 |
| 4.5.2 表面浓度和结深的变化 | 第55-56页 |
| 4.5.3 富硼层BRL厚度的变化 | 第56页 |
| 4.5.4 少子寿命的变化 | 第56-57页 |
| 4.6 原位氧化结合SiO_2纳米球辅助硼掺杂剂扩散对扩散层性能的影响 | 第57-60页 |
| 4.6.1 发射极表面浓度和结深的研究与分析 | 第57-58页 |
| 4.6.2 发射极表面BRL厚度的研究与分析 | 第58-59页 |
| 4.6.3 样品少子寿命的分析与研究 | 第59页 |
| 4.6.4 发射极表面钝化效果的分析与研究 | 第59-60页 |
| 4.7 本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 ：N型双面太阳电池的制备与性能研究 | 第62-69页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 N-PERT太阳电池的制备 | 第62-65页 |
| 5.3 N-PERT太阳电池的性能测试 | 第65-66页 |
| 5.3.1 N型太阳电池的电性能测试 | 第65-66页 |
| 5.3.2 N型双面电池的EL测试 | 第66页 |
| 5.4 N-PERT太阳电池的光致衰减现象研究 | 第66-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 结论与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 结论 | 第69-70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第79页 |
