| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第10-13页 |
| 1.3 本文研究内容和论文结构 | 第13-14页 |
| 第2章 MEMS加速度传感器信号检测模块分析与建模 | 第14-23页 |
| 2.1 MEMS加速度传感器简介 | 第14页 |
| 2.2 电容式MEMS加速度传感器工作原理 | 第14-15页 |
| 2.3 电容式MEMS加速度传感器设计与建模 | 第15-22页 |
| 2.3.1 敏感质量块 | 第16-17页 |
| 2.3.2 位移—电容变化 | 第17页 |
| 2.3.3 电容—电压读取 | 第17-19页 |
| 2.3.4 静电力反馈 | 第19页 |
| 2.3.5 信号检测模块闭环系统建模 | 第19-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 Sigma-Delta 调制器模块分析与建模 | 第23-34页 |
| 3.1 传统ADC发展过程 | 第23-24页 |
| 3.2 Sigma-Delta调制器工作原理 | 第24-30页 |
| 3.2.0 Sigma-Delta调制器性能指标 | 第25-26页 |
| 3.2.1 过采样技术 | 第26-27页 |
| 3.2.2 噪声整形技术 | 第27-30页 |
| 3.3 高阶Sigma-Delta调制器设计 | 第30-32页 |
| 3.3.1 高阶Sigma-Delta调制器结构 | 第30-32页 |
| 3.3.2 Sigma-Delta调制器设计流程 | 第32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第4章 数字抽取滤波器模块设计与建模 | 第34-46页 |
| 4.1 数字抽取滤波器简介 | 第34-35页 |
| 4.2 数字抽取滤波器工作原理 | 第35-36页 |
| 4.2.1 采样原理 | 第35-36页 |
| 4.2.2 滤波原理 | 第36页 |
| 4.3 数字抽取滤波器设计与建模 | 第36-45页 |
| 4.3.1 数字抽取滤波器主要指标 | 第37-38页 |
| 4.3.2 CIC滤波器 | 第38-40页 |
| 4.3.3 补偿滤波器 | 第40-42页 |
| 4.3.4 半带滤波器 | 第42-44页 |
| 4.3.5 滤波器建模仿真 | 第44-45页 |
| 4.4 本章小节 | 第45-46页 |
| 第5章 MEMS加速度传感器静电力系统建模与仿真 | 第46-60页 |
| 5.1 高阶MEMS加速度传感器系统建模仿真 | 第46-54页 |
| 5.1.1 MEMS加速度传感器三阶系统Simulink模型 | 第46-47页 |
| 5.1.2 MEMS加速度传感器四阶系统Simulink模型 | 第47-49页 |
| 5.1.3 MEMS加速度传感器五阶系统Simulink模型 | 第49-51页 |
| 5.1.4 MEMS加速度传感器建模仿真计算软件 | 第51-54页 |
| 5.2 MEMS加速度传感器五阶静电力系统联合滤波器建模仿真 | 第54-56页 |
| 5.3 数字抽取滤波器的Verilog硬件语言实现 | 第56-59页 |
| 5.3.1 CSD编码 | 第57页 |
| 5.3.2 双时钟实现四通道数据分配 | 第57-58页 |
| 5.3.3 Modelsim与QuartersⅡ联合仿真 | 第58-59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第6章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 工作总结 | 第60页 |
| 6.2 工作展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 个人简历 | 第66-67页 |
| 在校期间发表的学术论文与研究成果 | 第67页 |
