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Cu/Sn-xZn/Ni微焊点界面反应研究

摘要第2-3页
Abstract第3-4页
1 绪论第7-22页
    1.1 微电子封装技术概述第8-9页
    1.2 微电子封装技术的发展趋势第9-12页
        1.2.1 微电子封装的无铅化第9-11页
        1.2.2 微电子封装的微型化第11-12页
    1.3 互连焊点的界面反应第12-20页
        1.3.1 Cu/Sn-Zn界面反应第12-13页
        1.3.2 Ni/Sn-Zn界面反应第13-15页
        1.3.3 Cu-Ni交互作用第15-16页
        1.3.4 固-固界面反应第16-18页
        1.3.5 微焊点热迁移行为第18-20页
    1.4 研究目的和研究内容第20-22页
2 样品制备与实验方法第22-26页
    2.1 钎料的制备第22-23页
    2.2 线性焊点的制备第23页
    2.3 微焊点的恒温反应及热迁移实验第23-25页
    2.4 微观组织形貌及成分表征第25-26页
3 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点液-固界面反应研究第26-48页
    3.1 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点恒温回流界面反应第26-38页
        3.1.1 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点初始界面形貌第26-29页
        3.1.2 Cu/Sn-1Zn/Ni微焊点恒温回流界面形貌第29-32页
        3.1.3 Cu/Sn-5Zn/Ni微焊点恒温回流界面形貌第32-34页
        3.1.4 Cu/Sn-9Zn/Ni微焊点恒温回流界面形貌第34-37页
        3.1.5 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点恒温回流界面形貌分析第37-38页
    3.2 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点温度梯度下回流界面反应第38-43页
    3.3 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点液-固界面反应分析第43-46页
    3.4 本章小结第46-48页
4 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点固-固界面反应第48-61页
    4.1 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点恒温时效界面反应第48-52页
        4.1.1 Cu/Sn-1Zn/Ni微焊点恒温时效界面反应第48-49页
        4.1.2 Cu/Sn-5Zn/Ni微焊点恒温时效界面反应第49-51页
        4.1.3 Cu/Sn-9Zn/Ni微焊点恒温时效界面反应第51-52页
    4.2 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点Cu作热端固-固热迁移界面反应第52-55页
        4.2.1 Cu/Sn-1Zn/Ni微焊点Cu作热端固-固热迁移界面反应第52-53页
        4.2.2 Cu/Sn-5Zn/Ni微焊点Cu作热端固-固热迁移界面反应第53-54页
        4.2.3 Cu/Sn-9Zn/Ni微焊点Cu作热端固-固热迁移界面反应第54-55页
    4.3 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点Ni作热端固-固热迁移界面反应第55-58页
        4.3.1 Cu/Sn-1Zn/Ni微焊点Ni作热端固-固热迁移界面反应第55-56页
        4.3.2 Cu/Sn-5Zn/Ni微焊点Ni作热端固-固热迁移界面反应第56-57页
        4.3.3 Cu/Sn-9Zn/Ni微焊点Ni作热端固-固热迁移界面反应第57-58页
    4.4 Cu/Sn-xZn/Ni微焊点固-固界面反应分析第58-59页
    4.5 本章小结第59-61页
结论第61-63页
参考文献第63-67页
攻读硕士学位期间发表学术论文及申请专利情况第67-68页
致谢第68-70页

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