| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-35页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第14-16页 |
| 1.2 光学元件的等离子体化学加工技术研究概况 | 第16-29页 |
| 1.2.1 等离子体辅助化学刻蚀 | 第16-17页 |
| 1.2.2 等离子体射流加工 | 第17-20页 |
| 1.2.3 等离子体化学蒸发加工 | 第20-22页 |
| 1.2.4 反应原子等离子体加工技术 | 第22-25页 |
| 1.2.5 大气等离子体加工技术 | 第25-29页 |
| 1.3 光学加工用等离子体特性及加工表面形成研究现状 | 第29-33页 |
| 1.3.1 光学加工用等离子体温度与流场特性的研究现状 | 第30-31页 |
| 1.3.2 等离子体加工表面形成的研究现状 | 第31-33页 |
| 1.4 等离子体加工光学元件需要解决的问题 | 第33页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第33-35页 |
| 第2章 等离子体加工系统搭建及发生装置设计 | 第35-66页 |
| 2.1 引言 | 第35页 |
| 2.2 ICP加工装备的设计及搭建 | 第35-43页 |
| 2.2.1 ICP加工系统的基本构成 | 第35-40页 |
| 2.2.2 等离子体加工装备的搭建 | 第40-43页 |
| 2.3 ICP发生器内部温度与流场分布的数值仿真研究 | 第43-50页 |
| 2.3.1 ICP能量耦合机理 | 第43-44页 |
| 2.3.2 发生器内部温度和流场分布的数值仿真模型 | 第44-47页 |
| 2.3.3 发生器内部等离子体温度与流场分布特征分析 | 第47-50页 |
| 2.4 等离子体组分计算与ICP发射光谱分析 | 第50-55页 |
| 2.4.1 等离子体组分的数值计算 | 第50-54页 |
| 2.4.2 ICP发射光谱特征研究 | 第54-55页 |
| 2.5 ICP发生器损坏分析及可拆卸式发生器设计 | 第55-62页 |
| 2.5.1 炬管损坏原因分析 | 第56-58页 |
| 2.5.2 炬管损坏的流场因素 | 第58-60页 |
| 2.5.3 可拆卸式炬管的设计与装配 | 第60-62页 |
| 2.6 加工工艺实验研究 | 第62-65页 |
| 2.7 本章小结 | 第65-66页 |
| 第3章 束流降温喷嘴作用下的等离子体射流特性研究 | 第66-90页 |
| 3.1 引言 | 第66页 |
| 3.2 ICP冲击射流特性与材料去除函数分析 | 第66-69页 |
| 3.2.1 等离子体冲击射流的温度与速度分布特征 | 第66-68页 |
| 3.2.2 等离子体射流作用下的材料去除函数特征分析 | 第68-69页 |
| 3.3 ICP射流温度特性实验研究 | 第69-74页 |
| 3.3.1 等离子体射流光谱测量 | 第70-71页 |
| 3.3.2 基于发射光谱的等离子体温度计算 | 第71-72页 |
| 3.3.3 射流等离子体的温度分布特性 | 第72-74页 |
| 3.4 ICP束流降温喷嘴设计及其束流特性研究 | 第74-84页 |
| 3.4.1 束流降温喷嘴的结构设计与仿真模型参数设定 | 第74-78页 |
| 3.4.2 喷嘴结构对等离子体射流温度和流速分布的影响 | 第78-83页 |
| 3.4.3 优选喷嘴束流降温性能的实验研究 | 第83-84页 |
| 3.5 束流等离子体射流特性分析与材料去除函数特征 | 第84-89页 |
| 3.6 本章小结 | 第89-90页 |
| 第4章 ICP作用下熔石英表面微裂纹演变研究及水平集仿真分析 | 第90-109页 |
| 4.1 引言 | 第90页 |
| 4.2 熔石英玻璃表面/亚表面损伤产生机理与表征 | 第90-95页 |
| 4.2.1 熔石英表面/亚表面损伤产生机理 | 第90-93页 |
| 4.2.2 熔石英表面/亚表面损伤表征 | 第93-95页 |
| 4.3 等离子体作用下微裂纹损伤演变的物理化学过程分析 | 第95-99页 |
| 4.4 基于等离子体加工主导因素的微裂纹演变模型构建 | 第99-107页 |
| 4.4.1 基于水平集方法的裂纹演变模型构建数学理论 | 第99-102页 |
| 4.4.2 裂纹演变模型的有限差分求解 | 第102-104页 |
| 4.4.3 水平集建模的可行性算例与实验验证 | 第104-107页 |
| 4.5 基于水平集模型的裂纹演变研究 | 第107-108页 |
| 4.6 本章小结 | 第108-109页 |
| 第5章 ICP加工熔石英表面演变机理研究与实验验证 | 第109-129页 |
| 5.1 引言 | 第109页 |
| 5.2 ICP加工磨削表面形成机理与粗糙度演变研究 | 第109-113页 |
| 5.2.1 去除磨削表面损伤过程中的表面形成机理 | 第109-111页 |
| 5.2.2 加工表面形成过程中的粗糙度演变 | 第111-113页 |
| 5.3 三维加工表面形貌演变分析与实验验证 | 第113-120页 |
| 5.3.1 加工表面形貌的三维仿真结果 | 第114-115页 |
| 5.3.2 加工表面形貌演变的仿真分析 | 第115-117页 |
| 5.3.3 加工表面形貌演变的实验验证 | 第117-120页 |
| 5.4 影响表面形成与完整性的其他因素 | 第120-128页 |
| 5.4.1 表面磨削纹理对加工表面形成的影响研究 | 第120-124页 |
| 5.4.2 表面附着物对等离子体加工表面完整性的影响 | 第124-128页 |
| 5.5 本章小结 | 第128-129页 |
| 结论 | 第129-131页 |
| 参考文献 | 第131-142页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第142-144页 |
| 致谢 | 第144-146页 |
| 个人简历 | 第146页 |
