| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 石英玻璃超精密加工技术现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 磨削加工技术 | 第12-14页 |
| 1.2.2 微铣削加工技术 | 第14-15页 |
| 1.2.3 切削加工技术 | 第15页 |
| 1.2.4 特种加工技术 | 第15-16页 |
| 1.3 存在的问题与加工方法选择 | 第16-17页 |
| 1.4 本课题的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 超声振动砂带磨削加工方法分析 | 第19-47页 |
| 2.1 超声振动砂带磨削技术原理 | 第19-22页 |
| 2.1.1 椭圆振动轨迹理论计算及轨迹仿真 | 第20-21页 |
| 2.1.2 椭圆振动轨迹仿真 | 第21-22页 |
| 2.2 椭圆振动砂带磨削材料去除模型的建立 | 第22-37页 |
| 2.2.1 材料去除机理 | 第22页 |
| 2.2.2 椭圆振动相位确定 | 第22-27页 |
| 2.2.3 砂带磨粒粒径的选择 | 第27-32页 |
| 2.2.4 材料去除厚度与各个加工参数的关系式建立 | 第32-37页 |
| 2.3 砂带转速确定 | 第37-45页 |
| 2.3.1 砂带磨损过程分析 | 第37-38页 |
| 2.3.2 砂带磨粒力学模型建立 | 第38-41页 |
| 2.3.3 砂带磨损数学模型建立 | 第41-43页 |
| 2.3.4 砂带磨损率模型建立 | 第43-45页 |
| 2.4 磨削条件选择 | 第45-46页 |
| 2.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 超声椭圆振动设备的研制及性能测试 | 第47-63页 |
| 3.1 超声振动砂带磨削系统构成 | 第47页 |
| 3.2 装置设计及分析 | 第47-56页 |
| 3.2.1 变幅杆振动理论 | 第47-48页 |
| 3.2.2 带有加工工具复合形变幅杆设计分析 | 第48-56页 |
| 3.3 性能测试实验 | 第56-62页 |
| 3.3.1 复合变幅杆超声振动频率性能测量 | 第56-57页 |
| 3.3.2 复合变幅杆超声振动位移性能测量 | 第57-60页 |
| 3.3.3 椭圆合成测量 | 第60-62页 |
| 3.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第4章 石英玻璃磨削试验及分析 | 第63-71页 |
| 4.1 二维超声椭圆振动砂带装置的搭建 | 第63页 |
| 4.2 实验方案 | 第63-69页 |
| 4.2.1 磨削深度对石英玻璃表面粗糙度影响 | 第64-65页 |
| 4.2.2 石英玻璃进给速度对石英玻璃表面粗糙度影响 | 第65-66页 |
| 4.2.3 振幅a对石英玻璃表面粗糙度影响 | 第66-68页 |
| 4.2.4 振幅b对石英玻璃表面粗糙度影响 | 第68-69页 |
| 4.3 本章小结 | 第69-71页 |
| 第5章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 总结 | 第71-72页 |
| 5.2 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 作者简介及科研经历 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |