| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题来源及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.1.2 课题研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 基于微纳探针的纳结构刻划技术发展概述 | 第9-17页 |
| 1.2.1 纳结构的微纳探针刻划技术 | 第9-10页 |
| 1.2.2 纳结构的激光复合微纳探针刻划技术 | 第10-15页 |
| 1.2.3 国内外研究现状综述 | 第15-17页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 激光复合微纳探针的近场效应研究 | 第19-36页 |
| 2.1 表面等离子体激元理论 | 第19-22页 |
| 2.1.1 表面等离子体激元的近场增强理论 | 第19-20页 |
| 2.1.2 激光复合微纳探针近场增强机制 | 第20-22页 |
| 2.2 激光辐照微纳探针近场效应仿真分析 | 第22-30页 |
| 2.2.1 光纤探针通光辐照微纳探针近场增强研究 | 第23-27页 |
| 2.2.2 聚焦激光辐照微纳探针近场增强研究 | 第27-30页 |
| 2.3 激光辐照微纳探针热场仿真分析 | 第30-33页 |
| 2.3.1 热场理论分析 | 第30-31页 |
| 2.3.2 微纳探针上的热场仿真 | 第31-33页 |
| 2.4 微纳探针热膨胀仿真分析 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 激光辐照微纳探针的温度场测试研究 | 第36-47页 |
| 3.1 基于 AFM 力-距离曲线及纳米压痕的温度测试方法 | 第36-38页 |
| 3.2 温度测试试验系统 | 第38-42页 |
| 3.3 微纳探针针尖温度测试试验 | 第42-46页 |
| 3.3.1 高分子聚合物—聚乙烯 | 第42-44页 |
| 3.3.2 金属片状材料—锌片 | 第44-45页 |
| 3.3.3 薄膜材料—硅基底银膜 | 第45-46页 |
| 3.3.4 基于针尖温度测试的材料表面状态分析总结 | 第46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 激光复合微纳探针刻划试验研究 | 第47-63页 |
| 4.1 激光复合微纳探针刻划试验系统及试验方法 | 第47-50页 |
| 4.1.1 纳结构刻划 AFM 平台 | 第47-49页 |
| 4.1.2 纳结构刻划试验结果评判标准 | 第49-50页 |
| 4.2 纳米点蚀刻试验研究 | 第50-57页 |
| 4.2.1 间距对试验结果的相关性探讨 | 第50-52页 |
| 4.2.2 通光时间对纳米点形貌尺度的影响 | 第52-54页 |
| 4.2.3 激光能量对纳米点形貌尺度的影响 | 第54-55页 |
| 4.2.4 纳米点所用微纳探针磨损情况分析 | 第55-57页 |
| 4.3 纳米线刻划试验研究 | 第57-62页 |
| 4.3.1 作用力对纳米线试验结果的影响探究 | 第57-58页 |
| 4.3.2 通光时间对纳米线形貌尺度的影响研究 | 第58-60页 |
| 4.3.3 激光能量对纳米线形貌尺度的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.4 纳米线所用微纳探针磨损情况分析 | 第61-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68页 |