| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第15-30页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| 1.2 印制电路板(PCB)的发展概述 | 第16-19页 |
| 1.2.1 PCB的概念与分类 | 第16-18页 |
| 1.2.2 PCB制作的工艺流程 | 第18页 |
| 1.2.3 PCB上孔的金属化制程 | 第18-19页 |
| 1.3 酸性镀铜的应用与发展 | 第19-22页 |
| 1.3.1 铜的基本性质 | 第19页 |
| 1.3.2 电镀铜体系的分类及特点 | 第19-20页 |
| 1.3.3 酸性硫酸盐电镀铜的发展 | 第20-22页 |
| 1.4 超填孔镀铜的研究现状 | 第22-29页 |
| 1.4.1 超填孔镀铜液的基本组成 | 第22-23页 |
| 1.4.2 超填孔镀铜添加剂的发展概况 | 第23-25页 |
| 1.4.3 超填孔镀铜添加剂的相互作用研究 | 第25-27页 |
| 1.4.4 超填孔镀铜的机理 | 第27页 |
| 1.4.5 超填孔镀铜液的市场现状 | 第27-29页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第29-30页 |
| 第2章 实验材料及研究方法 | 第30-36页 |
| 2.1 实验材料及仪器 | 第30-31页 |
| 2.2 电镀铜填盲孔实验 | 第31-32页 |
| 2.2.1 镀液的配制 | 第31页 |
| 2.2.2 电镀铜填盲孔的工艺流程 | 第31-32页 |
| 2.3 电镀铜性能的表征 | 第32-33页 |
| 2.3.1 盲孔填孔率的表征 | 第32-33页 |
| 2.3.2 镀层表面形貌与结构的表征 | 第33页 |
| 2.3.3 镀层亲水性的表征 | 第33页 |
| 2.4 添加剂性能的电化学表征方法 | 第33-35页 |
| 2.4.1 循环伏安法 | 第33-34页 |
| 2.4.2 线性扫描伏安法 | 第34-35页 |
| 2.4.3 计时电位法 | 第35页 |
| 2.4.4 交流阻抗法 | 第35页 |
| 2.5 抑制剂的分子动力学模拟与量子化学计算 | 第35-36页 |
| 2.5.1 分子动力学模拟 | 第35页 |
| 2.5.2 量子化学计算 | 第35-36页 |
| 第3章 超填孔镀铜抑制剂的筛选 | 第36-73页 |
| 3.1 引言 | 第36-37页 |
| 3.2 EPE系列抑制剂的筛选 | 第37-55页 |
| 3.2.1 高浓度下EPE系列抑制剂的性能研究 | 第37-42页 |
| 3.2.2 低浓度下EPE系列抑制剂的性能研究 | 第42-55页 |
| 3.3 最佳抑制剂EPE2900的性能表征 | 第55-64页 |
| 3.3.1 抑制强度与填孔率的表征 | 第55-58页 |
| 3.3.2 镀层表面形貌与结构的表征 | 第58-61页 |
| 3.3.3 镀层亲水性的表征 | 第61页 |
| 3.3.4 镀铜液填孔稳定性的表征 | 第61-64页 |
| 3.4 以EPE2900为抑制剂的填孔镀铜工艺配方的优化 | 第64-71页 |
| 3.4.1 Cl-浓度的优化 | 第64-67页 |
| 3.4.2 EPE2900浓度的优化 | 第67-68页 |
| 3.4.3 SPS浓度的优化 | 第68-69页 |
| 3.4.4 JGB浓度的优化 | 第69-71页 |
| 3.4.5 最优化配方及填孔效果 | 第71页 |
| 3.5 本章小结 | 第71-73页 |
| 第4章 电镀铜过程中EPE2900与Cl-、SPS、JGB的相互作用研究 | 第73-97页 |
| 4.1 引言 | 第73页 |
| 4.2 EPE2900与Cl-在电镀铜过程中的相互作用研究 | 第73-81页 |
| 4.2.1 Cl-在电镀铜过程中的作用研究 | 第73-76页 |
| 4.2.2 EPE2900在电镀铜过程中的作用研究 | 第76-78页 |
| 4.2.3 EPE2900与Cl-在电镀铜过程中的协同作用研究 | 第78-81页 |
| 4.3 EPE2900与SPS在电镀铜过程中的相互作用研究 | 第81-89页 |
| 4.3.1 SPS在电镀铜过程中的作用研究 | 第81-83页 |
| 4.3.2 EPE2900与SPS在电镀铜过程中的竞争吸附研究 | 第83-89页 |
| 4.4 EPE2900与JGB在电镀铜过程中的相互作用研究 | 第89-93页 |
| 4.4.1 JGB在电镀铜过程中的作用研究 | 第89-91页 |
| 4.4.2 EPE2900与JGB在电镀铜过程中的协同作用研究 | 第91-93页 |
| 4.5 电镀铜过程中添加剂之间的相互作用研究 | 第93-96页 |
| 4.6 本章小结 | 第96-97页 |
| 第5章 抑制剂的作用机理研究 | 第97-120页 |
| 5.1 引言 | 第97页 |
| 5.2 EPE2900吸附模型的提出与证明 | 第97-109页 |
| 5.2.1 EPE2900分子结构特点的表征 | 第97-100页 |
| 5.2.2 EPE2900吸附模型提出的实验基础 | 第100-103页 |
| 5.2.3 EPE2900的简单吸附模型 | 第103-104页 |
| 5.2.4 EPE2900吸附模型的证明 | 第104-109页 |
| 5.3 EPE2900吸附模型的优化 | 第109-118页 |
| 5.3.1 EPE2900在电极表面上的吸附行为研究 | 第109-113页 |
| 5.3.2 EPE2900的优化吸附模型 | 第113-114页 |
| 5.3.3 EPE2900优化吸附模型的证明 | 第114-118页 |
| 5.4 本章小结 | 第118-120页 |
| 结论 | 第120-122页 |
| 论文创新点 | 第122页 |
| 展望 | 第122-123页 |
| 参考文献 | 第123-134页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第134-136页 |
| 致谢 | 第136-137页 |
| 个人简历 | 第137页 |
