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EPE系列镀铜抑制剂的填孔性能与作用机理研究

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
第1章 绪论第15-30页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第15-16页
    1.2 印制电路板(PCB)的发展概述第16-19页
        1.2.1 PCB的概念与分类第16-18页
        1.2.2 PCB制作的工艺流程第18页
        1.2.3 PCB上孔的金属化制程第18-19页
    1.3 酸性镀铜的应用与发展第19-22页
        1.3.1 铜的基本性质第19页
        1.3.2 电镀铜体系的分类及特点第19-20页
        1.3.3 酸性硫酸盐电镀铜的发展第20-22页
    1.4 超填孔镀铜的研究现状第22-29页
        1.4.1 超填孔镀铜液的基本组成第22-23页
        1.4.2 超填孔镀铜添加剂的发展概况第23-25页
        1.4.3 超填孔镀铜添加剂的相互作用研究第25-27页
        1.4.4 超填孔镀铜的机理第27页
        1.4.5 超填孔镀铜液的市场现状第27-29页
    1.5 本文的主要研究内容第29-30页
第2章 实验材料及研究方法第30-36页
    2.1 实验材料及仪器第30-31页
    2.2 电镀铜填盲孔实验第31-32页
        2.2.1 镀液的配制第31页
        2.2.2 电镀铜填盲孔的工艺流程第31-32页
    2.3 电镀铜性能的表征第32-33页
        2.3.1 盲孔填孔率的表征第32-33页
        2.3.2 镀层表面形貌与结构的表征第33页
        2.3.3 镀层亲水性的表征第33页
    2.4 添加剂性能的电化学表征方法第33-35页
        2.4.1 循环伏安法第33-34页
        2.4.2 线性扫描伏安法第34-35页
        2.4.3 计时电位法第35页
        2.4.4 交流阻抗法第35页
    2.5 抑制剂的分子动力学模拟与量子化学计算第35-36页
        2.5.1 分子动力学模拟第35页
        2.5.2 量子化学计算第35-36页
第3章 超填孔镀铜抑制剂的筛选第36-73页
    3.1 引言第36-37页
    3.2 EPE系列抑制剂的筛选第37-55页
        3.2.1 高浓度下EPE系列抑制剂的性能研究第37-42页
        3.2.2 低浓度下EPE系列抑制剂的性能研究第42-55页
    3.3 最佳抑制剂EPE2900的性能表征第55-64页
        3.3.1 抑制强度与填孔率的表征第55-58页
        3.3.2 镀层表面形貌与结构的表征第58-61页
        3.3.3 镀层亲水性的表征第61页
        3.3.4 镀铜液填孔稳定性的表征第61-64页
    3.4 以EPE2900为抑制剂的填孔镀铜工艺配方的优化第64-71页
        3.4.1 Cl-浓度的优化第64-67页
        3.4.2 EPE2900浓度的优化第67-68页
        3.4.3 SPS浓度的优化第68-69页
        3.4.4 JGB浓度的优化第69-71页
        3.4.5 最优化配方及填孔效果第71页
    3.5 本章小结第71-73页
第4章 电镀铜过程中EPE2900与Cl-、SPS、JGB的相互作用研究第73-97页
    4.1 引言第73页
    4.2 EPE2900与Cl-在电镀铜过程中的相互作用研究第73-81页
        4.2.1 Cl-在电镀铜过程中的作用研究第73-76页
        4.2.2 EPE2900在电镀铜过程中的作用研究第76-78页
        4.2.3 EPE2900与Cl-在电镀铜过程中的协同作用研究第78-81页
    4.3 EPE2900与SPS在电镀铜过程中的相互作用研究第81-89页
        4.3.1 SPS在电镀铜过程中的作用研究第81-83页
        4.3.2 EPE2900与SPS在电镀铜过程中的竞争吸附研究第83-89页
    4.4 EPE2900与JGB在电镀铜过程中的相互作用研究第89-93页
        4.4.1 JGB在电镀铜过程中的作用研究第89-91页
        4.4.2 EPE2900与JGB在电镀铜过程中的协同作用研究第91-93页
    4.5 电镀铜过程中添加剂之间的相互作用研究第93-96页
    4.6 本章小结第96-97页
第5章 抑制剂的作用机理研究第97-120页
    5.1 引言第97页
    5.2 EPE2900吸附模型的提出与证明第97-109页
        5.2.1 EPE2900分子结构特点的表征第97-100页
        5.2.2 EPE2900吸附模型提出的实验基础第100-103页
        5.2.3 EPE2900的简单吸附模型第103-104页
        5.2.4 EPE2900吸附模型的证明第104-109页
    5.3 EPE2900吸附模型的优化第109-118页
        5.3.1 EPE2900在电极表面上的吸附行为研究第109-113页
        5.3.2 EPE2900的优化吸附模型第113-114页
        5.3.3 EPE2900优化吸附模型的证明第114-118页
    5.4 本章小结第118-120页
结论第120-122页
论文创新点第122页
展望第122-123页
参考文献第123-134页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果第134-136页
致谢第136-137页
个人简历第137页

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