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ZnO基自整流忆阻器的制备及性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第11-31页
    1.1 忆阻器第11-12页
    1.2 非易失性存储器简介第12-17页
    1.3 阻变式存储器研究进展第17-23页
    1.4 神经突触仿生器件研究进展第23-28页
    1.5 整流忆阻器件的研究进展第28-30页
    1.6 本文的研究意义和内容第30-31页
第二章 实验方法第31-36页
    2.1 薄膜与器件制备第31-33页
        2.1.1 磁控溅射第31-32页
        2.1.2 电子束蒸发第32页
        2.1.3 快速退火第32-33页
    2.2 物理性能表征第33-35页
        2.2.1 原子力显微镜第33-34页
        2.2.2 半导体参数仪第34页
        2.2.3 光谱型椭偏仪第34-35页
        2.2.4 霍尔效应测试仪第35页
    2.3 本章小结第35-36页
第三章 ZnO基 1D1R结构的制备及性能研究第36-44页
    3.1 薄膜和器件的制备第36-38页
    3.2 忆阻器(Pt/ZnO/Pt)的制备及性能优化第38-40页
    3.3 二极管(Pt/AZO/ZnO/Pt)的制备及性能优化第40-43页
    3.4 本章小结第43-44页
第四章 ZnO基自整流忆阻器的制备及性能研究第44-51页
    4.1 Ti/ZnO/Pt器件的制备与性能研究第44-46页
    4.2 Ti/ZnO/AZO/Pt自整流忆阻器制备与性能研究第46-47页
    4.3 自整流忆阻器件的神经突触行为研究第47-49页
    4.4 本章小结第49-51页
第五章 ZnO基自整流忆阻器机理研究第51-58页
    5.1 ZnO基自整流忆阻器阻变机理研究第51-55页
    5.2 ZnO基自整流忆阻器整流机制研究第55-57页
    5.3 本章小结第57-58页
第六章 结论第58-60页
参考文献第60-70页
致谢第70-71页
攻读硕士学位期间主要研究成果第71-72页
攻读硕士学位期间参与项目第72页

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