| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 氮化物薄膜的研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 氮化物薄膜在组元上的发展现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 氮化物薄膜在结构上的发展现状 | 第14-15页 |
| 1.3 氮化物薄膜的制备方法 | 第15-20页 |
| 1.3.1 物理气相沉积 | 第16-18页 |
| 1.3.2 化学气相沉积 | 第18-20页 |
| 1.4 课题研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 实验材料与研究方法 | 第22-25页 |
| 2.1 实验材料 | 第22页 |
| 2.1.1 基体 | 第22页 |
| 2.1.2 靶材与其他材料 | 第22页 |
| 2.2 样品 | 第22-23页 |
| 2.2.1 薄膜的制备 | 第22-23页 |
| 2.2.2 热处理薄膜的制备 | 第23页 |
| 2.3 薄膜的表征 | 第23-24页 |
| 2.3.1 薄膜物相分析 | 第23页 |
| 2.3.2 薄膜表面及界面形貌分析 | 第23-24页 |
| 2.4 薄膜力学性能测试 | 第24-25页 |
| 2.4.1 薄膜显微硬度测试 | 第24页 |
| 2.4.2 薄膜摩擦性能测试 | 第24-25页 |
| 第三章 CrAlN薄膜的制备与性能研究 | 第25-36页 |
| 3.1 前言 | 第25-26页 |
| 3.2 形貌及相结构 | 第26-30页 |
| 3.3 力学性能 | 第30-31页 |
| 3.4 摩擦磨损行为 | 第31-35页 |
| 3.5 小结 | 第35-36页 |
| 第四章 CrN/CrAlN多层薄膜的制备与性能研究 | 第36-45页 |
| 4.1 前言 | 第36-37页 |
| 4.2 形貌及相结构 | 第37-40页 |
| 4.3 力学性能 | 第40-41页 |
| 4.4 摩擦磨损行为 | 第41-43页 |
| 4.5 小结 | 第43-45页 |
| 第五章 热处理对CrN/CrAlN多层薄膜性能的影响 | 第45-54页 |
| 5.1 前言 | 第45页 |
| 5.2 形貌及相结构 | 第45-49页 |
| 5.3 力学性能 | 第49-50页 |
| 5.4 摩擦磨损行为 | 第50-53页 |
| 5.5 小结 | 第53-54页 |
| 第六章 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第61-62页 |