| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-13页 |
| 1.1.1 空间滤波器 | 第9-10页 |
| 1.1.2 狭缝滤波器 | 第10-12页 |
| 1.1.3 狭缝滤波器中分析像差问题的意义 | 第12-13页 |
| 1.2 研究方法与内容 | 第13-16页 |
| 1.2.1 像差的展开 | 第13-15页 |
| 1.2.2 用来表示像差影响的狭缝滤波器参数 | 第15-16页 |
| 1.3 本论文主要工作 | 第16-18页 |
| 第二章 光束中的像差对“柱-球-柱”狭缝滤波器的影响 | 第18-35页 |
| 2.1“柱-球-柱”狭缝滤波器中光束传输的计算方法 | 第18-20页 |
| 2.2 光束中的像差对狭缝滤波器的影响 | 第20-29页 |
| 2.2.1 球差对狭缝滤波器的影响 | 第20-22页 |
| 2.2.2 彗差对狭缝滤波器的影响 | 第22-25页 |
| 2.2.3 像散对狭缝滤波器的影响 | 第25-26页 |
| 2.2.4 场曲和倾斜对狭缝滤波器的影响 | 第26-29页 |
| 2.3 不同F数下球差和彗差容许值的变化 | 第29-31页 |
| 2.4 实际光束入射模拟 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 透镜的加工像差对“柱-球-柱”狭缝滤波器的影响 | 第35-47页 |
| 3.1 狭缝滤波器前柱透镜的加工像差对滤波器的影响 | 第36-41页 |
| 3.1.1 球差对狭缝滤波器的影响 | 第36-37页 |
| 3.1.2 彗差对狭缝滤波器的影响 | 第37-38页 |
| 3.1.3 像散对狭缝滤波器的影响 | 第38-39页 |
| 3.1.4 场曲和倾斜对狭缝滤波器的影响 | 第39-41页 |
| 3.2 狭缝滤波器球透镜的加工像差对滤波器的影响 | 第41-45页 |
| 3.2.1 球差对狭缝滤波器的影响 | 第41-42页 |
| 3.2.2 彗差对狭缝滤波器的影响 | 第42-44页 |
| 3.2.3 像散以及场曲和倾斜对狭缝滤波器的影响 | 第44-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章“柱-球-柱”狭缝滤波器的综合像差分析 | 第47-54页 |
| 4.1 像差综合分析方法 | 第47-49页 |
| 4.1.1 入射光束和滤波器透镜上同时引入球差的情况 | 第47-48页 |
| 4.1.2 入射光束和滤波器透镜上同时引入x彗差的情况 | 第48-49页 |
| 4.2 透镜上的像差容许值与透镜加工精度的比较 | 第49-50页 |
| 4.3 不同F数下球差和彗差容许值的变化 | 第50-51页 |
| 4.4 实际光束入射模拟 | 第51-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 5.1 全文内容总结 | 第54-55页 |
| 5.2 未来工作展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士期间公开发表的论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
