基于原子层与分子层沉积相结合的混合薄膜封装技术
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 有机电致发光器件简介 | 第10-14页 |
| 1.1.1 OLED的发展历史 | 第10-12页 |
| 1.1.2 OLED寿命问题 | 第12-14页 |
| 1.2 OLED的封装技术 | 第14-16页 |
| 1.2.1 传统玻璃盖板封装技术 | 第14页 |
| 1.2.2 新型薄膜封装技术 | 第14-16页 |
| 1.3 本论文研究内容及意义 | 第16-18页 |
| 第2章 OLED的制备及封装 | 第18-26页 |
| 2.1 OLED器件结构及发光原理 | 第18-20页 |
| 2.2 OLED器件的制备 | 第20-21页 |
| 2.2.1 多源有机气相沉积系统 | 第20页 |
| 2.2.2 OLED器件制备流程 | 第20-21页 |
| 2.3 封装薄膜的制备 | 第21-24页 |
| 2.3.1 原子层与分子层沉积原理 | 第21-23页 |
| 2.3.2 热型ALD沉积系统 | 第23-24页 |
| 2.4 ALD制备封装薄膜 | 第24-26页 |
| 第3章 有机无机混合封装薄膜初步研究 | 第26-50页 |
| 3.1 应用于刚性器件的混合封装薄膜 | 第26-39页 |
| 3.1.1 薄膜表面形貌分析 | 第28-31页 |
| 3.1.2 薄膜WVTR测试 | 第31-35页 |
| 3.1.3 封装OLED器件各项性能测试 | 第35-39页 |
| 3.1.4 小结 | 第39页 |
| 3.2 应用于柔性器件的混合封装薄膜 | 第39-50页 |
| 3.2.1 柔性薄膜弯曲测试 | 第42-44页 |
| 3.2.2 薄膜裂纹与封装性能 | 第44-48页 |
| 3.2.3 小结 | 第48-50页 |
| 第4章 结论与展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 作者简介 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
