纳米压印制备电润湿显示器单元格
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-33页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 电润湿显示 | 第12-19页 |
| 1.2.1 发展概况 | 第12-13页 |
| 1.2.2 电润湿的基本原理 | 第13-16页 |
| 1.2.3 电润湿显示器的基本原理 | 第16-19页 |
| 1.3 纳米压印 | 第19-26页 |
| 1.3.1 热塑纳米压印技术 | 第21-22页 |
| 1.3.2 紫外固化纳米压印技术 | 第22-23页 |
| 1.3.3 微接触纳米压印技术 | 第23-25页 |
| 1.3.4 纳米压印技术中的核心技术 | 第25-26页 |
| 1.4 本文研究意义及主要内容 | 第26-28页 |
| 参考文献 | 第28-33页 |
| 第二章 主要实验仪器及其基本原理 | 第33-40页 |
| 2.1 主要加工制备类仪器 | 第33-37页 |
| 2.1.1 等离子体增强化学气相沉积系统 | 第33-34页 |
| 2.1.2 电感耦合—反应离子体刻蚀系统 | 第34-35页 |
| 2.1.3 纳米压印机 | 第35页 |
| 2.1.4 无掩膜紫外光刻机 | 第35-37页 |
| 2.2 主要表征类仪器 | 第37-39页 |
| 2.2.1 膜厚仪 | 第37页 |
| 2.2.2 台阶仪 | 第37-38页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜和光学显微镜 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-40页 |
| 第三章 压印制备典型结构的电润湿显示器 | 第40-66页 |
| 3.1 引言 | 第40-41页 |
| 3.2 具体工艺流程 | 第41-63页 |
| 3.2.1 高质量薄膜的制备 | 第41-44页 |
| 3.2.2 压印工艺制备围堰 | 第44-60页 |
| 3.2.3 灌油封装和测试 | 第60-63页 |
| 3.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 第四章 压印制备双稳态电润湿显示器 | 第66-75页 |
| 4.1 引言 | 第66-67页 |
| 4.2 主要实验流程 | 第67-73页 |
| 4.2.1 制备ITO底电极 | 第67-69页 |
| 4.2.2 压印制备显示单元格 | 第69-73页 |
| 4.3 小结与讨论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-75页 |
| 第五章 总结和展望 | 第75-77页 |
| 5.1 总结 | 第75-76页 |
| 5.2 展望 | 第76-77页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
