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纳米压印制备电润湿显示器单元格

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第一章 绪论第12-33页
    1.1 引言第12页
    1.2 电润湿显示第12-19页
        1.2.1 发展概况第12-13页
        1.2.2 电润湿的基本原理第13-16页
        1.2.3 电润湿显示器的基本原理第16-19页
    1.3 纳米压印第19-26页
        1.3.1 热塑纳米压印技术第21-22页
        1.3.2 紫外固化纳米压印技术第22-23页
        1.3.3 微接触纳米压印技术第23-25页
        1.3.4 纳米压印技术中的核心技术第25-26页
    1.4 本文研究意义及主要内容第26-28页
    参考文献第28-33页
第二章 主要实验仪器及其基本原理第33-40页
    2.1 主要加工制备类仪器第33-37页
        2.1.1 等离子体增强化学气相沉积系统第33-34页
        2.1.2 电感耦合—反应离子体刻蚀系统第34-35页
        2.1.3 纳米压印机第35页
        2.1.4 无掩膜紫外光刻机第35-37页
    2.2 主要表征类仪器第37-39页
        2.2.1 膜厚仪第37页
        2.2.2 台阶仪第37-38页
        2.2.3 扫描电子显微镜和光学显微镜第38-39页
    参考文献第39-40页
第三章 压印制备典型结构的电润湿显示器第40-66页
    3.1 引言第40-41页
    3.2 具体工艺流程第41-63页
        3.2.1 高质量薄膜的制备第41-44页
        3.2.2 压印工艺制备围堰第44-60页
        3.2.3 灌油封装和测试第60-63页
    3.3 本章小结第63-64页
    参考文献第64-66页
第四章 压印制备双稳态电润湿显示器第66-75页
    4.1 引言第66-67页
    4.2 主要实验流程第67-73页
        4.2.1 制备ITO底电极第67-69页
        4.2.2 压印制备显示单元格第69-73页
    4.3 小结与讨论第73-74页
    参考文献第74-75页
第五章 总结和展望第75-77页
    5.1 总结第75-76页
    5.2 展望第76-77页
研究生期间发表的论文第77-78页
致谢第78-79页

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