| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 问题的提出及研究的意义 | 第8-9页 |
| 1.2 本文的逻辑起点——“摩尔定律”的产生机缘 | 第9-11页 |
| 1.3 文献综述 | 第11-13页 |
| 1.3.1 “摩尔定律”的极限问题 | 第11-12页 |
| 1.3.2 “摩尔定律”与微电子工艺发展 | 第12-13页 |
| 1.4 主要研究方法 | 第13-19页 |
| 1.4.1 协同学理论 | 第13-18页 |
| 1.4.2 自组织理论相关概念的导入 | 第18-19页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 “摩尔定律”工程基础的历史梳理及分期 | 第20-30页 |
| 2.1 摩尔定律工程基础的科技基奠 | 第20-22页 |
| 2.2 摩尔定律工程基础系统要素分析 | 第22-23页 |
| 2.2.1 光刻技术要素 | 第22页 |
| 2.2.2 光刻机要素 | 第22页 |
| 2.2.3 导体材料要素 | 第22-23页 |
| 2.3 摩尔定律工程基础的分期标准 | 第23-25页 |
| 2.3.1 以往的摩尔定律工程基础分期标准 | 第23-25页 |
| 2.3.2 新的摩尔定律工程基础的分期标准 | 第25页 |
| 2.4 摩尔定律工程基础的阶段划分 | 第25-29页 |
| 2.4.1 微米阶段 | 第26页 |
| 2.4.2 亚微米阶段 | 第26-27页 |
| 2.4.3 深亚微米阶段 | 第27-28页 |
| 2.4.4 纳米阶段 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 “摩尔定律”工程基础阶段的发展过程分析 | 第30-37页 |
| 3.1 “摩尔定律”工程基础的瓶颈突破 | 第30-31页 |
| 3.1.1 步进式光刻机 | 第30页 |
| 3.1.2 漏电问题的出现 | 第30-31页 |
| 3.1.3 铝合金导体材料 | 第31页 |
| 3.2 “摩尔定律”工程基础的空间布线结构转向 | 第31-33页 |
| 3.2.1 分布式光刻机 | 第31-32页 |
| 3.2.2 漏电问题的解决 SOI 技术 | 第32页 |
| 3.2.3 空间布线结构由单层向多层的转变 | 第32-33页 |
| 3.3 “摩尔定律”工程基础的多核空间架构转向 | 第33-36页 |
| 3.3.1 扫描式、浸入式光刻机 | 第33-34页 |
| 3.3.2 漏电问题的解决 High-K 栅介质技术 | 第34页 |
| 3.3.3 铜导体材料 | 第34-35页 |
| 3.3.4 空间架构由单核向多核的转变 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 “摩尔定律”工程基础演化机理分析 | 第37-51页 |
| 4.1 “摩尔定律”工程基础序参量的标准与作用 | 第37-41页 |
| 4.1.1 序参量的涵义 | 第37-39页 |
| 4.1.2 “摩尔定律”工程基础的序参量衡量标准 | 第39-40页 |
| 4.1.3 光源在“摩尔定律”工程基础系统中的主导作用 | 第40-41页 |
| 4.2 “摩尔定律”工程基础演化中的分岔与选择 | 第41-45页 |
| 4.2.1 “摩尔定律”工程基础演化中的分岔现象 | 第41-43页 |
| 4.2.2 “摩尔定律”工程基础演化中的多样性与不确定性 | 第43-44页 |
| 4.2.3 分岔现象在临界值处的适应性选择 | 第44-45页 |
| 4.3 “摩尔定律”工程基础演化中的涨落与协同 | 第45-49页 |
| 4.3.1 “摩尔定律”工程基础要素的非线性作用关系 | 第45-47页 |
| 4.3.2 涨落在“摩尔定律”工程基础演化中的放大作用 | 第47-48页 |
| 4.3.3 “摩尔定律”工程基础的代际跃迁分析 | 第48-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
