| 第一章 引言 | 第8-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外相关研究发展动态 | 第9页 |
| 1.3 课题原有的工作基础 | 第9-14页 |
| 1.3.1 原有温度测量系统的工作原理 | 第10-11页 |
| 1.3.2 原有温度测量系统存在的问题 | 第11-14页 |
| 1.4 本文的主要工作 | 第14-17页 |
| 1.5 本文的创新之处 | 第17-18页 |
| 第二章 计算机温度测量子系统的硬件 | 第18-46页 |
| 2.1 计算机温度测量子系统的特点 | 第18-19页 |
| 2.2 微电流放大器 | 第19-21页 |
| 2.3 计算机接口卡 | 第21-31页 |
| 2.3.1 ISA接口总线[18～ | 第1921-25页 |
| 2.3.2 译码电路 | 第25-26页 |
| 2.3.3 A/D 转换电路 | 第26-30页 |
| 2.3.4 步进电机驱动接口电路 | 第30-31页 |
| 2.4 精密位移平台 | 第31-46页 |
| 2.4.1 三相反应式步进电动机与永磁式步进电动机[25～ | 第32-37页 |
| 2.4.2 混合式步进电动机[26,28, | 第37-39页 |
| 2.4.3 精密位移平台的驱动器 | 第39-46页 |
| 第三章 计算机温度测量子系统的软件 | 第46-54页 |
| 3.1 软件界面 | 第46-48页 |
| 3.2 软件结构 | 第48-54页 |
| 3.2.1 软件的视类 | 第48-51页 |
| 3.2.2 软件的框架窗口类 | 第51页 |
| 3.2.3 接口类 | 第51-54页 |
| 第四章 磷化铟衬底激光曝光区的温度波动及热致损伤现象 | 第54-59页 |
| 4.1 磷化铟衬底激光曝光区的温度波动 | 第54页 |
| 4.2 曝光区温度波动的机制 | 第54-57页 |
| 4.3 激光曝光区微小面元温度计算机实时闭环控制的必要性 | 第57-59页 |
| 第五章 计算机温度控制子系统 | 第59-70页 |
| 5.1 计算机温度控制子系统工作原理 | 第59页 |
| 5.2 温度控制子系统的硬件 | 第59-62页 |
| 5.2.1 电动可调光阑 | 第60页 |
| 5.2.2 电动可调光阑的驱动器 | 第60-62页 |
| 5.3 温度控制子系统的软件设计 | 第62-70页 |
| 5.3.1 温度控制子系统的软件结构 | 第62页 |
| 5.3.2 控制策略 | 第62-66页 |
| 5.3.3 计算机温度控制子系统控制策略的实现 | 第66-70页 |
| 第六章 计算机温度测控系统的实验结果与分析 | 第70-75页 |
| 6.1 温度测量子系统的实验结果与分析 | 第70-72页 |
| 6.2 温度控制子系统的实验结果与分析 | 第72-75页 |
| 结束语 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 附录一 计算机温度测控系统软件源程序 | 第80-113页 |
| 附录二 计算机温度测控系统的实物相片 | 第113-115页 |
| 附录三 温度测控系统中用到的一些集成芯片资料 | 第115-120页 |
| 个人简历 | 第120页 |
