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基于硅纳米线阵列的可见—近红外光探测器制备及其性能研究

学位论文数据集第3-4页
摘要第4-7页
ABSTRACT第7-10页
目录第11-13页
Contents第13-15页
第一章 绪论第15-35页
    1.1 引言第15-16页
    1.2 光电探测技术的典型应用第16-19页
        1.2.1 在食品检测方面的应用第16页
        1.2.2 在环境监测方面的应用第16-17页
        1.2.3 在军事、国防及安全方面的应用第17-18页
        1.2.4 在工业方面的应用第18-19页
    1.3 自驱动式的半导体光电探测器研究现状第19-27页
        1.3.1 自驱动式的MSM肖特基结二极管光电探测器研究现状第20-23页
        1.3.2 自驱动式的p-n结二极管光探测器研究现状第23-27页
    1.4 硅纳米线阵列光学和化学性质第27-30页
    1.5 氧化铜纳米结构材料在光探测中的应用第30-33页
    1.6 本课题的目的和意义第33-35页
第二章 基于金/硅纳米线阵列肖特基结的自驱动式可见-近红外光探测器性能研究第35-50页
    2.1 引言第35-36页
    2.2 实验部分第36-37页
        2.2.1 实验材料和仪器第36页
        2.2.2 硅纳米线阵列制备第36页
        2.2.3 肖特基结光探测器制作第36-37页
        2.2.4 探测器结构表征和光探测性能测试第37页
    2.3 结果与讨论第37-49页
        2.3.1 刻蚀时间对硅纳米线阵列形貌的影响第37-40页
        2.3.2 器件用硅纳米线阵列表征第40-41页
        2.3.3 金/硅纳米线肖特基结光探测器二极管特性表征第41-42页
        2.3.4 金/硅纳米线肖特基结光探测器自驱动可见-近红外光探测性能评价第42-48页
        2.3.5 金/硅纳米线肖特基结的光探测机理第48-49页
    2.4 小结第49-50页
第三章 基于P-氧化铜/N-硅纳米线阵列的自驱动、快速、宽光谱响应探测器性能研究第50-69页
    3.1 引言第50-51页
    3.2 实验部分第51-53页
        3.2.1 实验材料和仪器第51-52页
        3.2.2 p-CuO/n-SiNWs阵列合成第52页
        3.2.3 CuO/SiNWs p-n结光探测器制作第52页
        3.2.4 CuO/SiNWs p-n结光探测器结构表征和光探测性能测试第52-53页
    3.3 结果与讨论第53-68页
        3.3.1 p-CuO/n-SiNWs阵列形貌表征第53-55页
        3.3.2 CuO/SiNWs p-n结光探测器二极管特性表征第55-56页
        3.3.3 CuO/SiNWs p-n结光探测器自驱动可见-近红外光探测性能评价第56-62页
        3.3.4 CuO/SiNWs p-n结光探测机理第62-63页
        3.3.5 不同退火温度下p-CuO/n-SiNWs阵列形貌表征第63-66页
        3.3.6 不同退火温度下的CuO/SiNWs p-n结光探测器二极管特性比较第66-67页
        3.3.7 不同退火温度下的CuO/SiNWs p-n结光探测器性能比较第67-68页
    3.4 小结第68-69页
第四章 结论与展望第69-71页
    4.1 结论第69-70页
    4.2 论文创新点第70页
    4.3 展望第70-71页
参考文献第71-77页
致谢第77-79页
研究成果以及发表的学术论文第79-81页
作者及导师简介第81-82页
附件第82-83页

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