| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第14-18页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第18-28页 |
| 1.2.1 微结构光学功能表面的抛光技术研究分析 | 第18-22页 |
| 1.2.2 硬脆材料的超声振动抛光技术研究分析 | 第22-28页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 微结构表面超声振动抛光系统的建立及其特性分析 | 第30-54页 |
| 2.1 引言 | 第30页 |
| 2.2 微结构表面超声振动抛光系统 | 第30-39页 |
| 2.2.1 微结构表面超声振动抛光原理 | 第30-32页 |
| 2.2.2 磨粒相对于微结构表面的运动轨迹分析 | 第32-35页 |
| 2.2.3 超声振动抛光系统的建立 | 第35页 |
| 2.2.4 抛光轮对中误差对微结构表面轮廓精度的影响分析 | 第35-37页 |
| 2.2.5 超声振动抛光系统的刚度分析 | 第37-39页 |
| 2.3 抛光轮材料选取及其轮廓结构修正 | 第39-48页 |
| 2.3.1 抛光轮材料的选取 | 第39-41页 |
| 2.3.2 超声振动抛光液材料的选取 | 第41页 |
| 2.3.3 抛光轮轮廓结构的修正 | 第41-48页 |
| 2.4 抛光轮的精密修整 | 第48-53页 |
| 2.4.1 抛光轮修整原理及修整装置 | 第48-50页 |
| 2.4.2 对刀误差对抛光轮轮廓形状的影响分析 | 第50-51页 |
| 2.4.3 抛光轮精密修整结果分析 | 第51-53页 |
| 2.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 微结构表面超声振动抛光的磨料与工件相互作用机理研究 | 第54-77页 |
| 3.1 引言 | 第54页 |
| 3.2 微结构表面超声振动抛光的摩擦行为研究 | 第54-64页 |
| 3.2.1 微结构表面摩擦力测量方法 | 第54-57页 |
| 3.2.2 超声振动对摩擦力的影响规律分析 | 第57-59页 |
| 3.2.3 微结构表面超声振动抛光的摩擦力建模 | 第59-64页 |
| 3.3 微结构表面超声振动抛光的润滑接触形式研究 | 第64-67页 |
| 3.4 微结构表面超声振动抛光的材料去除形式分析 | 第67-76页 |
| 3.4.1 微结构表面超声振动抛光的化学作用分析 | 第67-68页 |
| 3.4.2 微结构表面超声振动抛光的机械作用分析 | 第68-76页 |
| 3.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第4章 微结构表面完整性评价及超声振动抛光工艺参数优化 | 第77-95页 |
| 4.1 引言 | 第77页 |
| 4.2 超声振动抛光微结构表面质量的研究 | 第77-86页 |
| 4.2.1 超声振动抛光微结构轮廓形状精度的分析 | 第77-79页 |
| 4.2.2 超声振动抛光微结构面形精度的分析 | 第79-82页 |
| 4.2.3 超声振动抛光微结构表面粗糙度的分析 | 第82-86页 |
| 4.3 超声振动抛光微结构亚表面损伤研究 | 第86-88页 |
| 4.4 超声振动抛光微结构表面材料去除率的研究 | 第88-90页 |
| 4.5 微结构表面抛光正交实验研究 | 第90-93页 |
| 4.5.1 正交实验设计 | 第90-91页 |
| 4.5.2 正交实验结果分析 | 第91-93页 |
| 4.6 本章小结 | 第93-95页 |
| 第5章 典型硬脆材料微结构表面的超声振动抛光加工 | 第95-107页 |
| 5.1 引言 | 第95页 |
| 5.2 圆弧槽阵列超声振动抛光加工 | 第95-98页 |
| 5.2.1 实验条件 | 第95-96页 |
| 5.2.2 加工结果分析 | 第96-98页 |
| 5.3 闪耀光栅阵列超声振动抛光加工 | 第98-102页 |
| 5.3.1 实验条件 | 第99页 |
| 5.3.2 加工结果分析 | 第99-102页 |
| 5.4 金字塔矩阵超声振动抛光加工 | 第102-106页 |
| 5.4.1 实验条件 | 第102-103页 |
| 5.4.2 加工结果分析 | 第103-106页 |
| 5.5 本章小结 | 第106-107页 |
| 结论 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-117页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 个人简历 | 第120页 |
