铝诱导非晶硅晶化的动力学机理和热力学机理研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 本文的研究内容与创新点 | 第15-17页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第15页 |
| 1.3.2 研究方案 | 第15-16页 |
| 1.3.3 创新点 | 第16-17页 |
| 第2章 实验原理与方法 | 第17-28页 |
| 2.1 薄膜的制备原理 | 第17-18页 |
| 2.2 实验方法和原料 | 第18-19页 |
| 2.2.1 主要设备 | 第18页 |
| 2.2.2 主要原料 | 第18-19页 |
| 2.3 薄膜的制备工艺 | 第19-20页 |
| 2.3.1 衬底的清洗 | 第19页 |
| 2.3.2 薄膜的溅射制备 | 第19-20页 |
| 2.4 热处理 | 第20-22页 |
| 2.4.1 快速光热退火炉 | 第20-21页 |
| 2.4.2 退火的操作步骤 | 第21页 |
| 2.4.3 退火的实验参数 | 第21-22页 |
| 2.5 性能表征 | 第22-27页 |
| 2.5.1 光学显微镜 | 第22-23页 |
| 2.5.2 台阶仪 | 第23-24页 |
| 2.5.3 X射线衍射仪 | 第24-25页 |
| 2.5.4 拉曼散射谱 | 第25-26页 |
| 2.5.5 扫描电镜 | 第26-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 非晶硅薄膜及铝膜制备 | 第28-32页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 实验方案与结果分析 | 第28-31页 |
| 3.2.1 膜厚的测定 | 第28-30页 |
| 3.2.2 退火时间分析 | 第30-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 铝诱导非晶硅晶化动力学机理研究 | 第32-38页 |
| 4.1 引言 | 第32页 |
| 4.2 实验方案与结果分析 | 第32-37页 |
| 4.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第5章 铝诱导非晶硅晶化热力学机理研究 | 第38-46页 |
| 5.1 引言 | 第38页 |
| 5.2 实验方案与结果分析 | 第38-45页 |
| 5.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第6章 多余铝的消除及减少研究 | 第46-51页 |
| 6.1 引言 | 第46页 |
| 6.2 实验方案与结果分析 | 第46-50页 |
| 6.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第7章 结论与展望 | 第51-53页 |
| 7.1 结论 | 第51-52页 |
| 7.2 进一步的研究工作与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
