| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-29页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-25页 |
| 1.2.1 表面等离子体超级透镜 | 第10-15页 |
| 1.2.2 金属纳米狭缝等离子体透镜 | 第15-19页 |
| 1.2.3 等离子体超表面波前调控及聚焦 | 第19-25页 |
| 1.3 存在的问题及主要研究内容 | 第25-27页 |
| 1.4 论文组织架构 | 第27-29页 |
| 2 等离子体超表面的理论基础和分析方法 | 第29-43页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 表面等离子体的基本理论 | 第29-35页 |
| 2.2.1 金属材料色散模型 | 第29-30页 |
| 2.2.2 表面等离子体的色散关系 | 第30-32页 |
| 2.2.3 局域表面等离子体 | 第32-33页 |
| 2.2.4 共振引入相位突变 | 第33-35页 |
| 2.3 矢量衍射理论 | 第35-39页 |
| 2.3.1 Richards-Wolf矢量衍射理论 | 第35-38页 |
| 2.3.2 矢量角谱理论 | 第38-39页 |
| 2.4 超表面器件的数值计算方法 | 第39-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 3 圆柱矢量光束超表面透镜 | 第43-65页 |
| 3.1 引言 | 第43-45页 |
| 3.2 径向和角向偏振光超表面透镜 | 第45-54页 |
| 3.2.1 结构设计 | 第45-48页 |
| 3.2.2 仿真结果 | 第48-54页 |
| 3.3 基于金属-介质光栅的径向偏振超表面透镜 | 第54-63页 |
| 3.3.1 金属-介质光栅参数设计 | 第55-57页 |
| 3.3.2 仿真结果 | 第57-63页 |
| 3.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 4 高效率的太赫兹等离子体超表面透镜 | 第65-75页 |
| 4.1 引言 | 第65-66页 |
| 4.2 多层亚波长单元结构设计 | 第66-69页 |
| 4.2.1 几何相位 | 第66-67页 |
| 4.2.2 多层金属介质单元结构 | 第67-69页 |
| 4.3 仿真结果 | 第69-74页 |
| 4.3.1 超表面偏折器 | 第69-71页 |
| 4.3.2 平板超表面透镜 | 第71-74页 |
| 4.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 5 基于表面等离子体光刻加工超表面透镜 | 第75-97页 |
| 5.1 引言 | 第75-76页 |
| 5.2 超表面透镜的结构设计 | 第76-79页 |
| 5.3 表面等离子体成像光刻结构设计和分析 | 第79-85页 |
| 5.4 表面等离子体光刻加工超表面透镜 | 第85-90页 |
| 5.4.1 优化曝光、显影工艺条件 | 第85-87页 |
| 5.4.2 单层IBE刻蚀和多层硬掩模刻蚀 | 第87-90页 |
| 5.5 超表面透镜的光学表征 | 第90-94页 |
| 5.6 本章小结 | 第94-97页 |
| 6 总结与展望 | 第97-101页 |
| 6.1 主要工作总结 | 第97-98页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第98-101页 |
| 致谢 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-113页 |
| 附录 | 第113-114页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第113-114页 |
| B. 作者在攻读学位期间取得的科研成果 | 第114页 |
| C. 作者在攻读博士学位期间参加的科研项目 | 第114页 |